纳米制造

摘要： 多功能高集成化全光纤器件促进了纤上实验室技术(Lab on fiber)的发展。制造阶段的快速进步为多功能即插即用光纤平台开辟了新的途径,研究人员致力于探索和优化纤上实验室器件制备技术以展示纤上实验室元件在许多应用场景中的潜力。回顾了纤上实验室传感技术的分类并对纤端微纳结构的制备工艺进行了总结,包括物理和化学加工方法,随后讨论了基于纤端超表面的纤上实验室器件制备技术的研究进展以及技术发展过程中存在的难点和要点,阐明了构建多功能高集成度多应用场景的纤上实验室传感器件的策略。纤上实验室技术已经取得了显著的成果,这表明多功能高集成化全光纤器件未来能够在物理和生化参数监测、微粒捕获及光场调控等众多场景中发挥核心作用。

摘要： 原子及近原子尺度制造在近年来一直是物质科学领域被广泛探讨的前沿问题.当制造和加工的尺度从微米、纳米逐渐走向原子级别时,材料在常规尺度下所具备的性质已无法通过经典理论进行解释,相反地,会在这一尺度下展现出一系列新奇的特性.因而对材料极限制造尺度和颠覆性物性的不断追求始终是科学界共同关注的重点领域.作为一种在纳米尺度下对结构制造单元进行精细操控的先进手段,DNA纳米技术的开发和发展为纳米制造甚至原子制造提供了新的观点和思路,而DNA折纸术作为DNA纳米技术的重要组成部分,正在凭借其在结构制造过程当中的高度可编程性成为纳米尺度下进行各类物质精准制造的独特的解决方案,并可能为不同物质不同材料更小尺度和任意形状的精准构筑带来机遇.本文首先简单概述了DNA折纸术的基本原理和发展历程,然后根据制造策略的不同对DNA折纸结构的纳米制造的相关代表性工作做了总结,并在文末提出了对于DNA折纸结构在原子制造中的可行性的思考和未来发展方向的展望.

摘要： 制造技术的不断迭代发展带来了器件性能的飞跃,也推动着人类技术的进步.伴随着器件特征尺寸的不断缩小,制造技术先后经历了宏观制造、介观制造、微观制造和纳米制造等多个阶段,当前最具代表性的半导体工艺,已经从微米尺度走到最前沿的3 nm左右,并进一步向更小的尺度迈进.因此,制造技术进入到原子尺度已不再是遥不可及的梦想,而成为现在科技界研究前沿的现实对象.

摘要： 制造由物质、能量和信息三大要素组成.物质是制造过程中被加工的主体,能量是制造过程中的驱动力,而对物质、能量要素进行控制、调节和管理,促使了信息的产生、传递与处理.制造科学是一个高度交叉的学科,其与信息科学、材料科学、纳米科学、生命科学的交叉融合,催生了数字制造、智能制造、增材制造、纳米制造、生物制造等新的研究领域和方向,使传统制造技术焕发新活力.随着新一代人工智能技术的到来以及物联网、云计算、5G等技术的蓬勃发展,人工智能在工业制造领域的应用展现出巨大潜力,工业制造的智能化发展逐渐成为全球关注热点.

摘要： 不同特征尺度和不同周期的氟化混合物软复制模板,通过使用硅主模板和紫外纳米压印光刻技术制备而成.与聚二甲基硅氧烷和其他聚合物材料相比,光刻胶具有优良的性能,如优良的机械强度、低表面能和良好的热稳定性等.在紫外和热纳米压印工艺中,主模板被用作印章.实验结果表明,转移到基底上的图案与主模板非常一致.所制备的氟化混合物复制模板不仅适用于紫外纳米压印,也适用于热纳米压印,并且所加工的复制模板还可被用于制备光电器件,以实现传感、成像、探测、通信和数据存储等领域中的相关功能.

摘要： 不同特征尺度和不同周期的氟化混合物软复制模板,通过使用硅主模板和紫外纳米压印光刻技术制备而成。与聚二甲基硅氧烷和其他聚合物材料相比,光刻胶具有优良的性能,如优良的机械强度、低表面能和良好的热稳定性等。在紫外和热纳米压印工艺中,主模板被用作印章。实验结果表明,转移到基底上的图案与主模板非常一致。所制备的氟化混合物复制模板不仅适用于紫外纳米压印,也适用于热纳米压印,并且所加工的复制模板还可被用于制备光电器件,以实现传感、成像、探测、通信和数据存储等领域中的相关功能。

摘要： 2017年10月20日，泰克科技公司日前宣布，伊利诺伊大学香槟分校电气和计算机工程系购买了3台吉时利4200A-SCS参数分析仪及3个4200A-CVIV多功能开关模块，用于首个本科生纳米加工实验室，旨在为学生提供与微纳电子动手实践经验。

摘要： 发展纳米制造技术是从纳米材料到器件规模化制造与应用发展的核心内容.传统的印刷技术主要是基于感光和刻蚀工艺,造成严重的环境污染和资源浪费.绿色印刷是一种增材制造技术,可以从源头大幅度降低能耗和减少环境污染.开发绿色印刷制造技术对我国相关产业的可持续发展具有重要的战略意义.同时,绿色印刷制造与传统微纳加工方法的结合,为器件的制造与集成提供了新的可能途径与方法,可望对产业制造技术产生变革性影响.文章介绍了纳米绿色印刷与器件制造技术项目的研究背景、项目目标与实施概况,以及已经取得的创新成果.

摘要： 国家自然科学基金委员会(National Natural Science Foundation of China,NSFC)重大研究计划'纳米制造的基础研究'瞄准学科发展前沿、面向国家发展的重大战略需求,旨在针对纳米精度制造、纳米尺度制造和跨尺度制造中的基础科学问题,探索纳米制造过程的基本规律,发展若干原创性的纳米制造工艺与装备原理,为实现纳米制造的一致性与批量化提供理论基础。介绍'纳米制造的基础研究'重大研究计划实施6年来的申请、资助情况和实施过程中采取的管理举措;回顾该重大研究计划在学科交叉融合、国内重大科研仪器与基础试验技能共享等方面获得的显著成效;总结项目研究团队在光学自由曲面抛光、晶圆平坦化与减薄、纳米切削、电场辅助纳米压印光刻、超快激光加工和半导体器件制造等方面取得的原创性成果和突出进展;同时,简要介绍了依托这些成果立项的4个集成项目的基本情况。

摘要： 介绍了新颖的纳米结构亚波长光学器件的特点,从器件的基本功能特性和工作机理两个方面详细讨论了其应用状况,并阐述了纳米制造技术对亚波长光学器件发展的重要推动作用及这一领域今后的研究热点.

摘要： 本文对ELID超精密磨削技术的研究现状和应用进行了综述，对氧化膜的生成机理、在磨削中的作用、影响因素等基础性问题和ELID磨削的在线控制和优化进行了探讨。提出了目前亟待解决的问题。

摘要： 本文对ELID超精密磨削技术的研究现状和应用进行了综述，对氧化膜的生成机理、在磨削中的作用、影响因素等基础性问题和ELID磨削的在线控制和优化进行了探讨。提出了目前亟待解决的问题。

摘要： 本文对ELID超精密磨削技术的研究现状和应用进行了综述，对氧化膜的生成机理、在磨削中的作用、影响因素等基础性问题和ELID磨削的在线控制和优化进行了探讨。提出了目前亟待解决的问题。

摘要： 本文对ELID超精密磨削技术的研究现状和应用进行了综述，对氧化膜的生成机理、在磨削中的作用、影响因素等基础性问题和ELID磨削的在线控制和优化进行了探讨。提出了目前亟待解决的问题。

摘要： 本文对ELID超精密磨削技术的研究现状和应用进行了综述，对氧化膜的生成机理、在磨削中的作用、影响因素等基础性问题和ELID磨削的在线控制和优化进行了探讨。提出了目前亟待解决的问题。

摘要： 用于制造纳米柱化基材表面的方法包括把包含两性嵌段共聚物和亲水均聚物的聚合物溶液施涂到基材表面。聚合物溶液中的两性嵌段共聚物和亲水均聚物在基材表面上进行自组装以形成自组装的聚合物层，该自组装的聚合物层包括与基材表面相邻的疏水结构域和延伸进入自组装的聚合物层的亲水结构域。可去除至少一部分的亲水结构域，从而在自组装的聚合物层的暴露的表面中形成多个孔。可将保护层沉积在暴露的表面作为掩模，用于通过多个孔蚀刻来形成通孔。可通过通孔把形成纳米柱的材料沉积到基材表面上。然后，可去除自组装的聚合物层的其余部分，来暴露纳米柱化基材表面。

摘要： 本发明是一种罐形状容器内部装置纳米制氧器，以纳米制氧器的螺纹通过罐容器的下部一端的通孔和上部通孔向外露出，上部螺纹用螺丝固定，上部固定的供给管连接着制氧机的供给管，利用纳米制氧机提供罐式氧气水供给装置。本发明维持最大量的溶解氧，以简化的构造提供氧气水的纳米制氧机及利用纳米制氧机的罐式氧气水供给装置，是用于日常生活中方便吸取氧气水。

摘要： 提供一种用于以少量的水制造不损坏口味的免淘米的预处理的淘米处理的淘米装置,采用该淘米装置的免淘米制造装置,可很好地摊平谷物摊平装置,或免淘米制造设备,提供一种淘米装置,该装置包括:从下向上输送精白米的扬谷螺纹、设置在头部的淘米水注水口、设置在头部的精白米排出口、将由于前述扬谷螺纹的输送而被加压的精白米于从前述注水口注入的淘米水一起搅拌并进行淘米处理的淘米辊,淘米处理过的精白米从前述米排出口排出。

摘要： 一种装置，包括：腔室和可拆卸地连接到该腔室的喷嘴，该喷嘴限定孔口；设置在腔室内的靶转盘；第一激光器，其被配置成生成第一光束，该第一光束被引导朝向靶转盘以执行原位烧蚀来形成激光羽流；气体流系统，其被配置成将气体供应到腔室中，使得气体与激光羽流相互作用并引起纳米颗粒的凝结和形成；以及第二激光器，其被配置成生成第二光束，该第二光束被引导通过腔室的内部、通过喷嘴的孔口，并且朝向设置在装置外部的基底，该第二激光束被配置成将离开喷嘴的纳米颗粒烧结和结晶在基底上。

摘要： 本技术的多个实施例提供了超高密度异质集成，其通过纳米精度的取放组装实现。例如，一些实施例提供了使用预制块(PFB)的模块化组装技术的集成。这些PFB可在一个或多个源晶圆上制造。然后，可以采用取放技术将PFB选择性地布置在目标晶圆上，从而可以高效制造纳米级对准的3D堆叠集成电路(N3‑SI)和微米级模块化组装式ASIC(M2A2)。一些实施例包括采用取放组装来构建尺寸任意大于标准光刻场尺寸26×33mm的构造半导体器件的系统和技术。

摘要： 本发明的实施例提供了采用碳纳米管(CNT)的晶体管结构和互连结构。本发明的其它实施例提供了制造采用碳纳米管的晶体管结构和互连结构的方法。根据本发明的实施例的确定性纳米制造技术能够提供有效率的路线，用于例如随机逻辑和存储电路应用中使用的晶体管和互连结构的大规模制造。

摘要： 本发明公开了一种用于微纳米制造的自填料三臂式热扫描探针，该探针由三臂式悬臂梁、金属接触焊盘、打印用镍铬合金加热电极、输运用镍铬合金加热电极和聚合物存储区组成。本发明采用光刻、湿法刻蚀等常规微纳加工工艺制作得到。本发明利用加热电极的梯度密度设计，产生连续的温度梯度变化，从而实现打印料物从储存区到针尖区的持续性输运，实现自填料。本发明可以和CMOS工艺无缝集成，且打印出的材料可以通过CMOS工艺中常用的丙酮或者氧气等离子体彻底消除，没有沾污；而且采用本发明的微纳米加工方法只需要造价远远低于电子束光刻机或者极紫外光刻机的原子力显微镜，在常温下打印，具有成本低、使用简单的特点。

摘要： 本发明的实施例提供了采用碳纳米管(CNT)的晶体管结构和互连结构。本发明的其它实施例提供了制造采用碳纳米管的晶体管结构和互连结构的方法。根据本发明的实施例的确定性纳米制造技术能够提供有效率的路线，用于例如随机逻辑和存储电路应用中使用的晶体管和互连结构的大规模制造。

摘要： 本发明属于超精密加工领域，公开了一种石英半球谐振子纳米制造方法，实现了石英半球陀螺谐振子从宏观制造到纳米制造一体化的方法，首先采用轨迹法对工件进行磨削和超精密磨削。其次利用激光干涉成像，采用自主研发的化学机械抛光液对不符合表面精度和形位精度的区域进行限域化学机械抛光，最后使用离子束对工件和不满足加工要求的区域进行修型。最终达到表面粗糙度，圆度，圆柱度均小于100nm。本发明为半球陀螺的加工提供的新的方法和新思路，达到了加工要求，满足了军工国防，航空航天和一些民用设备的需求。

摘要： 本发明属于难加工材料超精密加工领域，提供一种金刚石陀螺谐振子纳米制造装备。激光装置的激光脉冲频率在1‑500kHz可调，脉冲宽度在5‑300ps可调，激光斑点直径在5‑40μm可调，功率在0‑100W可调，可同时实现粗加工和精加工；纳米移动平台装置，能够实现X，Y，Z三坐标轴的移动和绕Z轴的转动，移动精度小于10nm，转动精度小于0.02°；原位在线检测装置利用激光干涉仪对加工质量进行原位检测；镀膜装置采用离子镀；聚焦离子束装置，加速电压在2‑30kV可调，电流在20pA‑50nA可调；本发明提供一种金刚石超硬材料复杂结构的纳米制造装备，实现金刚石陀螺谐振子纳米级精度制造。