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气浮轴承

气浮轴承的相关文献在1990年到2022年内共计332篇,主要集中在机械、仪表工业、航空、航天(宇宙航行) 等领域,其中期刊论文86篇、会议论文13篇、专利文献370585篇;相关期刊62种,包括西安工业大学学报、计量技术、润滑与密封等; 相关会议12种,包括第十届全国振动理论及应用学术会议、中国航天科技集团公司2011数字化制造论坛、第九届全国气体润滑与干气密封学术交流会暨专业委员会会议等;气浮轴承的相关文献由639位作者贡献,包括刘鹏辉、单晓杭、孙建辉等。

气浮轴承—发文量

期刊论文>

论文:86 占比:0.02%

会议论文>

论文:13 占比:0.00%

专利文献>

论文:370585 占比:99.97%

总计:370684篇

气浮轴承—发文趋势图

气浮轴承

-研究学者

  • 刘鹏辉
  • 单晓杭
  • 孙建辉
  • 周海清
  • 汤秀清
  • 赵俊波
  • 刘树清
  • 付增良
  • 刘胜
  • 梁彬
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利文献

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排序:

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    • 岳友飞; 苏星; 李自胜; 李顺顺; 李星占; 蔡勇
    • 摘要: 针对超精密垂直轴对无摩擦、高稳定性重力平衡系统的需求,本文设计了一种新式无摩擦气缸,并对气浮轴承的参数进行优化。首先,确定气浮轴承初始参数,据此建立基于ANSYS的有限元分析模型,将分析结果与工程计算、实验结果对比,验证仿真计算的可靠性。然后,利用该模型,采用响应面优化方法,得到不同节流孔布置下(对应最佳气膜厚度时)的承载力、耗气量、抗弯力矩,选定最优气膜参数。分析结果表明承载力与节流孔个数呈现非线性变化关系,承载力随节流孔数量增加快速上升后基本保持恒定。采用双排节流孔布置,可以较少的节流孔个数保证抗弯力矩。最后针对优化前后的气缸进行了实验测试,分析发现参数优化后承载力提升约7.7%,抗弯力矩提升约15.7%。本文提出的基于响应面优化的气浮轴承参数优化设计高效可行,优化设计的新式气浮无摩擦气缸能够满足重力平衡系统的使用需求。
    • 陈作炳; 洪俊辉; 梅文辉; 吴志豪; 童程光
    • 摘要: 气浮轴承是光刻机等高精度设备的关键部件,其静态特性直接决定设备精度。以真空预载小孔节流静压气浮轴承为研究对象,探究供气压力、真空度、真空腔面积比以及节流孔直径等因素对轴承静态特性的影响。研究发现气膜厚度与轴承的静态特性呈现4个方面相关性:1)当气膜厚度一定时,供气压力越大,轴承承载能力和刚度越大,最大刚度对应的气膜厚度为7~9μm;2)真空度越大,轴承承载能力越小,但真空度对轴承刚度影响较小;3)真空腔的加入使轴承承载能力下降,但为轴承提供了双向刚度,气膜厚度和真空腔面积比与轴承刚度呈负相关;4)节流孔直径越大,轴承承载能力越大,气膜厚度较小时,节流孔直径与轴承刚度呈负相关,最大刚度对应的气膜厚度为6~12μm。当气膜厚度超过20μm时,轴承刚度在上述分析情况下均趋于零。
    • 郭雨; 赖天伟; 任雄豪; 赵琪; 侯予
    • 摘要: 为研究润滑介质种类对于气浮轴承性能的影响,通过FLUENT对采用空气、二氧化碳、氢气与氦气作为润滑介质的气浮轴承进行数值计算,分别对静压轴承承载力随供气压力的变化趋势以及动压轴承承载力随转速的变化趋势进行分析;并对不同环境压力和温度下的二氧化碳润滑动压气浮轴承承载力变化趋势进行研究.数值计算结果表明:润滑介质种类对于静压、动压气浮轴承的承载特性均具有明显影响;不同润滑介质润滑下静压气浮轴承的承载力由大到小排序大致为空气、氦气、氢气、二氧化碳;不同润滑介质动压气浮轴承承载力变化趋势基本与润滑介质黏度变化趋势保持一致;二氧化碳润滑动压气浮径向轴承的承载力受环境温度与压力的影响主要体现在其工质黏度(随温度与压力)变化,二氧化碳润滑动压止推轴承的承载力随环境压力的增大近似呈线性增大.
    • 蒋继乐; 吴鲲; 郭斌; 吴实; 蒋卫杰
    • 摘要: 惯性导航系统中的加速度、转速、扭矩等关键量的准确测量直接影响到系统导航精度.扭矩计量是惯导系统中的关键量之一.由于气浮轴承摩擦损耗小,目前替代刀口支撑的标准扭矩机已逐步成为扭矩溯源的首选形式.结合转速、加速度精确测量技术与溯源方法研究,惯性导航系统的关键量测量能够为后续复杂数据处理分析、坐标转换与最终位置信息处理提供有力的技术支撑.
    • 梁彬; 付增良; 岳才谦; 赵俊波
    • 摘要: 基于气浮轴承的自由滚转实验技术是测量再入飞行器小不对称滚转气动力的重要方法.文章研究中对偏翼标模进行了小滚转力矩测量,并针对实验系统的特点,对气浮轴承进行了无风实验标定和真空实验标定,给出了其动态特性结果.进一步分析了气浮轴承动态特性、原始数据采集测量误差和参数辨识误差对实验结果的影响,并给出了综合误差分析结果,说明了主要误差来源.结果显示:滚转力矩系数和滚转阻尼导数测量综合误差分别约为10-7和10-4量级,实验中可根据实际情况进行误差处理.研究结果对气浮轴承自由滚转实验精度提高、方案设计和设备研制等具有重要的实际意义.
    • 梁彬; 付增良; 岳才谦; 赵俊波
    • 摘要: 基于气浮轴承的自由滚转实验技术是测量再入飞行器小不对称滚转气动力的重要方法.文章研究中对偏翼标模进行了小滚转力矩测量,并针对实验系统的特点,对气浮轴承进行了无风实验标定和真空实验标定,给出了其动态特性结果.进一步分析了气浮轴承动态特性、原始数据采集测量误差和参数辨识误差对实验结果的影响,并给出了综合误差分析结果,说明了主要误差来源.结果显示:滚转力矩系数和滚转阻尼导数测量综合误差分别约为10-7和10-4量级,实验中可根据实际情况进行误差处理.研究结果对气浮轴承自由滚转实验精度提高、方案设计和设备研制等具有重要的实际意义.
    • 唐志文; 李佳; 刘源炯
    • 摘要: 为满足超精密制造装备的发展需求,提高气浮支承承载性能,设计一种狭缝进气且带有三角形均压槽复合式气浮支承结构.对该结构进行建模仿真,分析不同数量、辐射角度、厚度、半径的均压槽对气浮支承结构静态性能的影响.结果表明:均压槽半径和数量对刚度峰值大小影响显著,而不同均压槽深度和角度会使得刚度峰值出现在不同的气膜间隙厚度上;均压槽体积增大使得承载力得到提升,质量流量的损耗量增加.
    • 倪晋权; 李涛; 胡刚; 蒋继乐; 倪昔东
    • 摘要: 基于1mN~10N力标准装置控制系统的设计研制为背景,介绍了力值标准装置的分类、原理、结构和组成.装置采用国内首创的设计结构,减小了力值复现不确定度,提高了力值标准装置的计量性能,为力值计量工作提供一种全新支承方式的静重式微小力值量值传递的手段,解决了高准确度微小力值传感器的量值溯源问题.装置技术指标达到测量范围1mN~0.5N,力值不确定度1.0×10-4(k=2);测量范围0.5N~10N,力值不确定度4.0×10-5(k=2).该装置的控制系统、智能监控系统设计要点等,为力值专业的计量和测试人员提供了研究微小力值量值传递标准装置设计的技术指导,从而促进了高准确度微小力值的计量保障工作在全国范围内的深入开展.
    • 任同群; 王晓飞; 江海川; 徐兴辉; 王晓东
    • 摘要: 为实现陀螺仪动压马达气浮轴承内部间隙的精确、快速测量,研制了一套自动化测量系统.通过施加外力将轴承内部间隙转化为外部微位移,应用多测头相对测量方法间接获得内部间隙.系统中嵌入3个微力传感器,实现施力过程的闭环控制,保证力的连续、精确加载.采用自动翻转机构,实现径向、轴向间隙测量状态的自动转换,完成连续测量.为克服零件装夹中存在定转子相对倾斜而导致间隙转化不正确的问题,在轴向夹持部分引入柔性连接结构,同时利用转子体自重实现其与定子轴的自动找正,在测量过程中基于接触力和位移的双重反馈,实现零件平衡的自动精确调整,以保证内部间隙的正确转化.经实验验证,该系统测量精度在0.3μm以内,能够满足测量技术要求.
    • 蒋继乐; 吴鲲; 郭斌; 吴实; 蒋卫杰
    • 摘要: 惯性导航系统中的加速度、转速、扭矩等关键量的准确测量直接影响到系统导航精度。扭矩计量是惯导系统中的关键量之一。由于气浮轴承摩擦损耗小,目前替代刀口支撑的标准扭矩机已逐步成为扭矩溯源的首选形式。结合转速、加速度精确测量技术与溯源方法研究,惯性导航系统的关键量测量能够为后续复杂数据处理分析、坐标转换与最终位置信息处理提供有力的技术支撑。
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