敏感膜

摘要： 通过Ansys仿真分析,对微机电系统(MEMS)气体传感器悬膜式微热板整体结构进行优化,有效地降低热串扰,减少加热层向硅基底的热量传导,从而降低传感器的功耗;并设计圆弧应力匀散结构,降低微热板的热应力。测试气敏结果表明:该传感器对NO_(2)具有较好的响应和恢复特性,检测下限达到0.1×10^(-6),并且与NO_(2)体积分数有良好的线性关系。

摘要： 目前，多数磁场传感技术在灵敏度及磁滞误差等方面仍存在问题，阻碍了其实质应用。AIP advances（https：／／doi．org／10．1063／1．5012579）报道了中科院声学研究所王文研究员研究小组的一个研究发现，对铁钴磁致伸缩薄膜进行栅阵式设计，可以获得一种新型的快速、灵敏度高的磁场检测方法，提高磁场传感器的线性度、一致性和稳定性，减小迟滞误差，由此改善磁场传感器的性能。由此为高性能磁场检测提供了一个有效途径。

摘要： In order to solve the problem of the high cost of the development of the micro-mechanical capacitive microphone,we designed the mask of microphone by Blueprint module inIntellisuiteTM,we simulated the process flow of microphone by IntelliFab module in IntelliSuiteTM in this paper.At the end of simulation,the module of microphone could be geted,then the 3D BUILDER,TEM module in IntelliSuiteTM were used to get sensitivity,pull-in voltage and frequency response of microphone.The relevant parameters of micro mechanical capacitive microphone according to the simulation process could provide a reference and guide the products development and design process of the microphone.The results indicate that the process can replace the actual development of the manufacturing process and aimed at saving the cost of product development.%针对麦克风产品开发成本过高问题,对麦克风的制造工艺进行了研究,提出了一种用仿真代替实验的方法,利用IntelliSuite软件中的Blueprint设计麦克风制作过程中所使用的掩膜版图,再利用IntelliSuite软件中IntelliFab模块对器件进行了微电容式麦克风的工艺流程仿真,仿真出麦克风器件,再利用IntelliSuite软件中的3D BUILDER,TEM两个子模块,仿真得到了微机械电容式麦克风的灵敏度、吸合电压以及固有频率等参数,该仿真过程得到的相关参数能够为微机械电容式麦克风性能的佐证提供参考,并指导学者对微电容式麦克风产品的开发与设计过程.分析结果表明,此过程能够代替实际的开发的制造过程,达到节约产品开发成本的目的.

摘要： Metal organic framework is a kind of three-dimensional framework porous materials self-assembly by a structure of organic ligands and metal centers.Because of the structure of metal organic complex framework,it has good chemical properties.Metal-organic frameworks have become more and more mature when applied to material analysis.Significant progress has also been achieved in the application of electrochemical sensors.In this paper,the newly found preparing approaches to the mental-organic frameworks,constructing electrochemical sensor methods as well as the summary of its application in electrochemical sensor based on MOF are presented.The problems and the limitations in metal-organic frameworks application to the electrochemical sensors are also involved.At the end,we briefly discuss the direction and expectations of electrochemical sensor based on metalorganic frameworks.%金属-有机框架化合物(以下简称金属-有机框架)是一类有机配体与金属中心通过自组装形成的具有三维框架结构的多孔材料,其特异复杂的结构使其具有良好的化学性能.金属-有机框架化合物在分析化学方面的应用受到广泛关注,在电化学传感器应用方面也取得了显著进展.本文简要介绍近年来金属-有机框架用于构建电化学传感器的方法及在电化学传感器中的作用;对基于金属-有机框架的电化学传感器的应用进行了综述;分析了目前金属-有机框架-电化学传感器研究中存在的问题和局限性并对其应用进行了展望.

摘要： 基于钌络合物Ru(dpp)3Cl2的发光特性,制备了一种化学稳定性好、使用寿命长、荧光激发性能高的氧敏感膜.研究了敏感膜的透光特性,重点分析了荧光试剂浓度、液体温度、pH值、电路参数等因素对敏感膜荧光发射强度的影响,同时探讨了不同激发光源对敏感膜荧光性能及其使用寿命的影响,在此基础上,实现了氧敏感膜的特异性和对溶解氧的响应度检测.实验结果表明:制备的氧敏感膜对水体中的溶解氧响应度较好,检测误差保持在1％左右,在溶解氧/葡萄糖含量测定、微生物传感检测等方面有着较好的应用前景.

摘要： 提出了一种新型的基于微环谐振器的甲烷传感器.该传感器通过微环表层的穴番A涂层来增加微环的有效折射率,使微环谐振器中谐振波长随甲烷浓度的增加而向右漂移;通过测量输出光信号的谐振波长推算出甲烷浓度.理论分析结果表明,该传感器的谐振波长变化范围在一个自由光谱范围内,甲烷浓度测量范围为0～15％;对比SOI材料和聚合物材料、单面敏感膜和三面敏感膜的测量结果,得出聚合物材料三面敏感膜微环的谐振波长变化幅度较大,测量灵敏度为60 pm.

摘要： A review on the recent advances of research on molecularly imprinted electrochemical sensors (MIECS) was presented in this paper,relating especially to the topics on methods of preparations of sensing films (including in situ induction polymerization,surface coating,electrochemical polymerization,molecular self-assembly and sol-gel),and on types of MIECS,(including potential,conductance,current,capacitance/impedance and piezoelectricity).A briefing of trends on development of MIECS were also given (52 ref.cited).%综述了分子印迹电化学传感器研究进展,主要对分子印迹电化学传感器敏感膜的制备方法(包括原位引发聚合法、表面涂覆法、电化学聚合法、分子自组装法和溶胶—凝胶法)和分子印迹电化学传感器的类型(包括电位型、电导型、电流型、电容/阻抗型和压电型)进行了详细介绍,并对分子印迹电化学传感器的发展进行了展望(引用文献52篇).

摘要： 基于声表面波技术的气体传感器包括采用敏感膜和结合气相色谱两种方式.比较而言,采用敏感膜的声表面波气体传感器体积小、功耗低,适应小型化毒气报警器的发展要求,但可检测的气体种类少、灵敏度低、存在交叉干扰问题；声表面波与气相色谱联用的气体分析仪灵敏度高、可检测气体种类多、很好地解决交叉干扰问题,特别适合于复杂大气背景条件下的气体成分分析.本文从传感器响应机理分析与物理功能结构两方面出发介绍了两类声表面波气体传感器的研究进展情况.

摘要： 根据静电自组装原理,采用聚二烯丙基二甲基氯化铵(PDDA)和聚4-苯乙烯基磺酸钠(PSS)制备了自组装膜,考察了膜层自组装过程中的吸光度变化。并通过添加Fe3+指示剂磺基水杨酸的方法,利用PDDA、PSS自组装体系,制备了具有铁离子敏感性的自组装膜。试验结果表明,所制备的敏感膜完整、均匀。光学性能测试表明,所制备的敏感膜在不同浓度铁离子溶液中的吸光度变化与铁离子浓度具有较好的对应关系。

摘要： 聚吡咯是一种典型的导电聚合物,其电导率最高可达103S/cm。聚吡咯在化学电源、修饰电极、电容器、传感器等领域具有广阔的应用前景。电化学法制备的聚吡咯膜有电化学活性高,性能好,纯度高的优点。聚吡咯纳米线膜电极对很多化合物的氧化还原反应具有催化作用。本试验以可溶性淀粉为诱导剂,使用电化学法在石墨电极上合成了高质量的聚吡咯纳米线。考察了pH、温度等对制备聚吡咯纳米线的影响,得到了合成聚吡咯纳米线的最佳条件。合成的聚吡咯敏感膜对NO2-具有良好的催化还原能力,其还原电流与NO2-浓度具有良好的线性关系。聚吡咯敏感膜可用于组装性能优良的电化学传感器。

摘要： 研制了一种采用0.35μm标准CMOS工艺制造的,集成ISFET/REFET及其信号处理电路于一体的集成化芯片系统(SOC).其中ISFET敏感膜为采用电化学法制备的导电聚合物Ppy(聚吡咯),通过对各种条件的优化,最终得到了pH响应为56mV/pH的高灵敏度.

摘要： 以壳聚糖为膜材料制成薄膜，运用生物素－亲和素系统将辣根过氧化物酶(HRP)固定在膜上，固定化过程对HRP的活性无影响，而其稳定性提高，运用Luminol-HO-HRP化学发光体系，对水平中微量HO进行检测，在10～10mol/L范围内线性关系良好，回归方程：Y=20.648X-215.239(X:nmol)，检测灵敏度为0.5 nmol。该实验所研制的壳聚糖膜可制成多功能敏感膜。

摘要： 声表面波气体传感器包括采用敏感膜和结合气相色谱两种方式。比较而言,采用敏感膜的声表面波气体传感器体积小、功耗低,但可检测的气体种类少、灵敏度低、存在交叉干扰问题；声表面波与气相色谱联用的气体分析仪灵敏度高、可检测气体种类多、很好地解决交叉干扰问题,特别适合于复杂大气背景条件下的气体成分分析。文中介绍了两类声表面波气体传感器的发展概况。

摘要： 主要在研究真空微电子场致发射理论基础上;提出了台阶阵列、阴极-敏感薄膜新的机制;进行了计算机模拟场致发射计算和敏感薄膜厚度的模拟计算;进行了封装测试等工作;并且已经研制出真空微电子硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的压力传感器,进行了实物的场致发射输出电流的测试和敏感薄膜压力特性的测试.

摘要： 主要在研究真空微电子场致发射理论基础上;提出了台阶阵列、阴极-敏感薄膜新的机制;进行了计算机模拟场致发射计算和敏感薄膜厚度的模拟计算;进行了封装测试等工作;并且已经研制出真空微电子硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的压力传感器,进行了实物的场致发射输出电流的测试和敏感薄膜压力特性的测试.

摘要： 主要在研究真空微电子场致发射理论基础上;提出了台阶阵列、阴极-敏感薄膜新的机制;进行了计算机模拟场致发射计算和敏感薄膜厚度的模拟计算;进行了封装测试等工作;并且已经研制出真空微电子硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的压力传感器,进行了实物的场致发射输出电流的测试和敏感薄膜压力特性的测试.

摘要： 主要在研究真空微电子场致发射理论基础上;提出了台阶阵列、阴极-敏感薄膜新的机制;进行了计算机模拟场致发射计算和敏感薄膜厚度的模拟计算;进行了封装测试等工作;并且已经研制出真空微电子硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的压力传感器,进行了实物的场致发射输出电流的测试和敏感薄膜压力特性的测试.

摘要： 主要在研究真空微电子场致发射理论基础上;提出了台阶阵列、阴极-敏感薄膜新的机制;进行了计算机模拟场致发射计算和敏感薄膜厚度的模拟计算;进行了封装测试等工作;并且已经研制出真空微电子硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的压力传感器,进行了实物的场致发射输出电流的测试和敏感薄膜压力特性的测试.

摘要： 主要在研究真空微电子场致发射理论基础上;提出了台阶阵列、阴极-敏感薄膜新的机制;进行了计算机模拟场致发射计算和敏感薄膜厚度的模拟计算;进行了封装测试等工作;并且已经研制出真空微电子硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的压力传感器,进行了实物的场致发射输出电流的测试和敏感薄膜压力特性的测试.

摘要： 本发明提供一种光化射线敏感或辐射敏感树脂组合物，其具有优异的灵敏度、粗糙度特性和曝光宽容度，以及一种使用其形成图案的方法。所述组合物包含(A)当与酸作用时分解从而增加其在碱性显影剂中溶解度的树脂，以及(B)当曝光于光化射线或辐射时分解从而产生酸的化合物，所述化合物为下述通式(1‑1)的任何化合物。

摘要： 本发明提供一种用中性水即可进行显影的活性能量射线敏感性树脂组合物。活性能量射线敏感性树脂组合物，其特征在于：将不溶或难溶于水、通过活性能量射线的作用生成酸的产酸剂以微粉状分散于水溶性树脂的水溶液中，形成分散液，使酸反应性不溶剂溶解或分散于上述分散液中，其中所述酸反应性不溶剂通过酸的作用，使该水溶性树脂不溶解。

摘要： 本发明提供一种光化射线敏感或辐射敏感树脂组合物，其包含(A)当与酸作用时分解从而增加其在碱性显影剂中的溶解度的树脂，(B)

摘要： 本发明提供一种光化射线敏感或辐射敏感树脂组合物，其具有优异的灵敏度、粗糙度特性和曝光宽容度，以及一种使用其形成图案的方法。所述组合物包含(A)当与酸作用时分解从而增加其在碱性显影剂中溶解度的树脂，以及(B)当曝光于光化射线或辐射时分解从而产生酸的化合物，所述化合物为下述通式(1-1)的任何化合物。

摘要： 本发明提供一种用中性水即可进行显影的活性能量射线敏感性树脂组合物。活性能量射线敏感性树脂组合物，其特征在于：将不溶或难溶于水、通过活性能量射线的作用生成酸的产酸剂以微粉状分散于水溶性树脂的水溶液中，形成分散液，使酸反应性不溶剂溶解或分散于上述分散液中，其中所述酸反应性不溶剂通过酸的作用，使该水溶性树脂不溶解。

摘要： 提供能够适用湿式工艺，用于形成耐热性、抗蚀图案形状、蚀刻耐性、对高低基板的埋入特性和膜的平坦性优异的光刻用膜，耐热性、透明性和折射率优异的光学部件等的含有下述式(1)所示的三嗪系化合物的膜形成材料。

摘要： 下述式(1)所示的化合物及其制造方法、以及组合物、光学部件形成用组合物、光刻用膜形成组合物、抗蚀剂组合物、抗蚀图案的形成方法、辐射敏感组合物、非晶膜的制造方法、光刻用下层膜形成材料、光刻用下层膜形成用组合物、光刻用下层膜的制造方法、抗蚀图案形成方法、电路图案形成方法、以及纯化方法。(1)(式(1)中，R1为碳数1～60的2n价基团或单键，R2～R5各自独立地为碳数1～30的直链状、支链状或者环状的烷基、碳数6～30的芳基、碳数2～30的烯基、下述式(A)所示的基团、下述式(B)所示的基团、硫醇基或羟基，此处，选自由R2～R5组成的组中的至少1个为选自由下述式(A)所示的基团和下述式(B)所示的基团组成的组中的基团，m2和m3各自独立地为0～8的整数，m4和m5各自独立地为0～9的整数，其中，m2、m3、m4以及m5不同时为0，n为1～4的整数，p2～p5各自独立地为0～2的整数。)(A)(式(A)中，R6各自独立地为碳数1～4的亚烷基，m’为1以上的整数。)(B)(式(B)中，R6与前述定义相同，R7为氢原子或甲基，m”为0或1以上的整数。)

摘要： 本发明提供一种敏感膜及含有给敏感膜的丝网印刷电极，该丝网印刷电极该丝网印刷电极包括电极基片，该电极基片上印制有工作电极、参比电极和辅助电极，所述工作电极的表面涂有一层敏感膜；该敏感膜依次由碳纳米管、纳米氧化锌和碳墨烯组成；该丝网印刷电极可测定微量元素、维生素、氨基酸、氨茶碱、地高辛、尿酸或单胺递质等物质，具有灵敏度高、选择性好、费用低、测定快速、易操作等特点。

摘要： 本发明提供一种敏感膜及含有给敏感膜的丝网印刷电极，该丝网印刷电极包括电极基片，该电极基片上印制有工作电极、参比电极和辅助电极，所述工作电极的表面涂有一层敏感膜；该敏感膜依次由碳纳米管、纳米氧化锌和碳墨烯组成；该丝网印刷电极可测定微量元素、维生素、氨基酸、氨茶碱、地高辛、尿酸或单胺递质等物质，具有灵敏度高、选择性好、费用低、测定快速、易操作等特点。

摘要： 本实用新型提供一种敏感膜及含有该敏感膜的丝网印刷电极，该丝网印刷电极包括电极基片，该电极基片上印制有工作电极，所述工作电极的表面涂有一层敏感膜；所述敏感膜依次由碳纳米管层、纳米氧化锌层和石墨烯层组成；该丝网印刷电极具有选择性好、费用低、测定快速、易操作等特点，以解临床、社区医院或家庭实现血药浓快速监测的问题。