微纳米结构

摘要： 由于含油废水的排放会使生态环境及人类健康遭到严重破坏,合成一种有效的油水分离材料是极其重要和具有挑战性的。介绍了一种具有高效油水分离效率的泡沫铜材料的制备方法。该方法采用抽提法将表面粗糙度为微纳米级的有机金属骨架涂层附着在泡沫铜上,然后用硅烷偶联剂KH570蒸汽对其进行改性,制备高效能的油水分离膜。制备的泡沫铜具有较大的孔隙结构、微/纳米级两层表面粗糙度、高的水接触角,能从水中分离出四氯化碳、甲苯、三氯甲烷等一系列油品。此外,制备的泡沫铜可循环利用。

摘要： 对液滴在界面上动态行为的研究是化学和材料领域的一个重要方向,许多先进的表面和界面技术,比如集水、防覆冰、防雾、微流体控制和传热等,均属于这一范畴。通过模仿自然界中具有特殊微纳米结构和特定化学组成的生物表面,设计并构筑相应具有特殊浸润性的仿生界面,对仿生界面材料的技术应用起到了良好的先导与示范作用。本文结合本课题组的研究工作,以自然界中具有特殊微纳米结构和梯度特征的生物表面为出发点,分别从仿生多微纳米梯度界面的雾滴传输聚集调控、低温憎水/防覆冰动态调控、微液滴驱动调控3个方面,综述了近年来仿生多微纳米梯度界面的液滴动态行为调控方面的代表性研究工作,并对该领域的研究现状做出了总结和展望。

摘要： 在再生医学领域中,材料对细胞生长和组织修复的调节作用一直是极为关键的问题。随着表面图案化技术的发展,在材料表面制备规则、可控、种类多样的图案化区域成为可能,因而该技术被广泛应用于再生医学、组织工程以及细胞诊断等相关学科领域。通过微纳米表面图案化方法,改变材料的化学性质和拓扑结构,从而实现对细胞粘附、迁移、增殖、凋亡、基因表达及分化的调控,受到越来越多关注。这其中涉及多种多样的微纳米结构、基底材料、修饰材料、细胞类型和细胞行为。该文归纳了目前主要的微纳米表面图案化方法,并从各向异性拓扑结构、各向同性拓扑结构以及复合型结构着手,概述了基于材料微纳米结构对细胞行为调控这一领域的研究工作,尝试总结细胞行为与生长环境的具体联系,为再生医学中所使用的支架、植入物的设计提供参考。

摘要： 激光诱导向前转移技术(LIFT)是一种新兴数字打印技术,利用脉冲激光束透过石英基板辐射供体材料,进而推动部分材料于受体表面沉积成膜。LIFT技术具有打印膜层精度高、非接触式沉积、操作环境限制低和可操作性高等特点。LIFT技术印刷材料跨度大意味着更广泛的激光诱导向前转移技术应用领域,从表面微结构到印刷电极,从化学传感器到航空航天设备。随着各种功能化材料的需求出现,LIFT技术不断创新,目前包括吸收层LIFT技术、气泡驱动LIFT技术、动态释放层LIFT技术和基质辅助脉冲激光蒸发直写技术等。针对固相与液相的薄膜材料,从激光与材料相互作用及转移的机制方面进行了归纳,综述了LIFT技术在制造各种功能器件的研究进展,希望为该技术进一步发展提供新思路,以应对在多尺度多材料应用平台开发相关材料的挑战。

摘要： 为满足大缸径发动机活塞的冷却需要,必须采用冷却油腔进行强制冷却;但随着发动机强度的不断提升,活塞冷却油腔的换热已无法满足低速船用柴油机高强化程度发展的需求.为提升往复运动活塞冷却油腔的换热能力,从壁面改性角度着手,在不改变任何活塞结构前提条件下,将微纳米结构用于冷却油腔表面.利用往复振荡换热模拟试验研究其强化传热的效果,结果表明:试验往复振荡冲击换热的最佳换热充液率为50%,既可保证液体对壁面的冲击速度,也可使上壁面形成有效的液膜覆盖;随着转速的增加,会增大液体与气体在腔内的混合程度,在一定范围内能强化内冷油腔的换热;采用微结构超亲表面后,强化换热效果最大.

摘要： 随着人类社会的进步与发展,工业上的石油泄漏以及含油废水的处理成为亟待解决的重要问题,网膜分离法因具有较高的分离效率且容易操作等优点逐渐成为新的研究热点。本工作将3⁃巯丙基三乙氧基硅烷(KH⁃580)和带阳离子的[2⁃(甲基丙烯酰氧基)乙基]三甲基氯化铵(DMC)通过点击反应和脱水缩合反应接枝在纳米二氧化硅(SiO_(2))上,并使其与带阴离子的全氟辛酸钠(PFOA⁃Na)反应,喷涂于不锈钢金属网上,制备成超亲水⁃空气疏油水下超疏油金属网。之后采用接触角测量仪、傅里叶红外光谱仪、扫描电子显微镜等对其进行了表征,并且考察了纳米二氧化硅的质量对水下接触角的影响。结果表明,纳米二氧化硅表面成功接枝了季胺阳离子,并且与全氟辛酸钠上的阴离子反应,而且超亲水⁃空气疏油水下超疏油金属网在空气中与水的接触角为0°,达到了超亲水状态,在空气中对食用油的接触角为120°。几种有机油的水下接触角大于150°,选择0.4 g作为合适的纳米二氧化硅质量,取得的水下接触角和孔径较优。超亲水⁃空气疏油水下超疏油金属网对实验的五种有机油的分离效率大于96.85%,测得五种有机油的最大分离通量为23192 L/(m_(2)·h),选择食用油作为研究对象,经过30次分离循环后分离效率也不低于95.65%,这表明超亲水⁃空气疏油水下超疏油金属网具有良好的稳定性和实用性。

摘要： 如今,具有各向异性浸润性和粘附性的金属超疏水表面由于其广阔的应用前景变得越发重要。本文提出了一种结合了脉冲激光烧蚀和低温退火后处理的新型制备策略。通过激光烧蚀在不锈钢表面制备出斜锥结构阵列,然后进行120°C低温退火处理。得到的表面表现出优异的机械耐久性和各向异性超疏水性。实验证明,水滴在制备表面的接触角沿其斜锥结构的平行方向(167°±2°)和垂直方向(157°±2°)是不同的。此外,还表征了斜锥结构表面的水滴滑动各向异性和机械耐久性,性能均符合预期。本文中可以快速制备且对环境友好的超疏水表面可广泛用于集水、液滴处理和管道运输等实际应用中。

摘要： 梳理了超疏水表面的润湿原理,归纳了水热法、刻蚀法、电化学沉积法、阳极氧化法、模板法和喷涂法制备金属基超疏水表面的基本原理和发展趋势.综述了常见金属基体上超疏水表面在腐蚀防护中的应用和研究现状,并对金属基超疏水表面的未来发展方向进行了展望.

摘要： 研究了由微米金字塔阵列和纳米级氧化铝(Al_(2)O_(3))薄膜构成的微纳复合结构对硅基光控太赫兹调制器调制性能的增强效应和机制。实验表明,相对于半导体硅片,硅表面的微米金字塔阵列能够显著减少激光反射率,提高对激光的利用率,且能增加太赫兹波的调控面积。更重要的是,金字塔阵列上沉积的纳米级厚度Al_(2)O_(3)薄膜还能进一步降低激光反射率,并能明显提升太赫兹波的调制效果,在95.5 mW/mm^(2)的激光功率密度下,其调制深度可达91.2%。该光控太赫兹调制器在低激光功率下拥有高调制深度,在太赫兹成像和通信领域都有巨大的应用潜力。

摘要： 目的制备一种新型微纳米共存梯度仿生表面结构,并探究其对骨髓间充质细胞生物学活性的影响。方法通过放电等离子烧结法和阳极氧化处理分别在纯钛表面(纯钛组)制备微米骨小梁样结构(微米骨小梁组)和TiO2纳米管形貌(TiO2纳米管组);再通过阳极氧化法在微米骨小梁样结构上制备TiO2纳米管结构,形成新型微纳米共存梯度仿生表面结构,命名为微纳米复合钛组。应用扫描电子显微镜(scanning elec⁃tronmicroscopy,SEM)和原子力显微镜(atomic force microscopy,AFM)、接触角(contact angle,CA)测量对纯钛组、微米骨小梁组、TiO2纳米管组和微纳米复合钛组进行表征观察。将大鼠骨髓间充质细胞(bone marrow mesenchymal cells,BMMCs)接种于4组材料上,SEM观察细胞黏附情况;MTT法检测细胞在材料表面增殖能力;碱性磷酸酶(alkaline phosphatase,ALP)活性检测细胞在材料表面分化能力;共聚焦显微镜(confocal laser scanning microscope,CLSM)下观察细胞黏附、免疫荧光检测相关蛋白肌动蛋白(F⁃actin)、黏着斑蛋白(vincu⁃lin)、骨钙素(osteocalcin,OCN)、骨桥蛋白(osteopontin,OPN)表达;qRT⁃PCR观察细胞成骨转录因子RUNX2、OCN、OPN、I型胶原(collagen I,COLI)表达情况。结果微纳米复合钛组表面亲水性最好(CA为9°±2.1°);MTT结果示5~9 d,微纳米复合钛组和TiO2纳米管组的细胞增殖活性显著高于纯钛组和微米骨小梁组(P<0.001);ALP结果示14 d时,微纳米复合钛组表面ALP活性最高;CLSM结果示培养24 h后,微纳米复合钛组肌动蛋白(F⁃actin)染色最深;培养72 h后,微纳米复合钛组OCN、OPN表达强于微米骨小梁组和TiO2纳米管组。qRT⁃PCR结果示TiO2纳米管组和微纳米复合钛组表面细胞所有成骨转录因子RUNX2、OCN、OPN、COLI的基因表达水平强于纯钛组和微米骨小梁组,其中I型胶原COLI基因表达水平差异有统计学意义(P<0.001)。结论微纳米复合钛这种新型微纳米共存梯度仿生表面结构能有效促进骨髓间充质细胞黏附、增殖及成骨向分化。

摘要： 无论是利用半导体照明技术高效利用能源,还是利用太阳能光伏发电直接获取能源,电-光和光-电转换效率都是人们关注的重要课题.利用微纳米结构提高LED和太阳能电池的能源转换效率成为近年来研究的重点.作为具有明确应用目标的这些光电子器件,制备成本是必然要考虑的一个因素.目前报道的众多微纳米结构制备技术,虽然在某种程度上能够提升器件的电-光和光-电转换效率,但成本昂贵,并不利于其实际应用.更重要的是,对于微纳米结构影响这类器件电-光和光-电转机制的认识目前还不够深入,这更成为限制这些器件性能提高的瓶颈之一。太阳能电池与LED相比，一个共同之处在于都涉及到光与物质的相互作用。化学自组装是一种公认的低成才、、大面积制作微纳米结构的新技术。多年来围绕胶体微纳米球自组装机理、方法及应用展开了深入研究。近两年来，围绕大面积胶体晶体单层的制备及其在提高GaN毕LED发光效率方面的应用开展了一些工作。如何将胶体晶体衍生微纳米结构用于太阳能电池中光的捕获、光生载流子的传输与分离，以进一步提升太阳能电池的光-电转换效率，是作者感兴趣的课题，希望与到会专家交流，共同开展相关工作。

摘要： 癌症,是新世纪人类健康的最大威胁之一.而骨特殊的环境极易导致其他癌症转移到骨.目前骨癌临床上的治疗方法主要是手术和放、化疗相结合.然而手术会造成大块的骨缺损,同时有残余肿瘤细胞,放疗和化疗对病人会造成很大的毒副作用.而光热治疗在增加肿瘤疗效和减小副作用上有显著地优势.因此，将光热治疗与组织工程相结合，制备光热功能化的生物活性支架材料，达到既可以修复手术造成的缺损，还可以利用光热疗法杀死残余肿瘤的目的。

摘要： 微纳制造技术是当前的研究热点和前沿.本项目借鉴仙人掌、蝴蝶翅膀等生物微纳米结构的优异特性,开展了仿仙人掌水汽冷凝微纳米结构制备研究、仿蝴蝶鳞翅气体感知研究、仿生微纳米复合结构在光解水制氢中的应用研究、面向柔性电子的低温工艺钙钛矿微能源器件制备与应用研究、以及微电子器件的封装工艺研究,为推动仿生微纳制造相关研究的发展和应用奠定了良好的基础.

摘要： 科学研究和工业应用的需求大大推动了高能量高峰值功率光纤激光的发展.最近光电子领域的热门方向光子晶体光纤的出现,大大推动了光波导技术的进展.这种光纤能设计出普通光纤难以实现特殊传输性能,尤其是可以实现极大的单模场面积,这大大促进了高功率激光技术的发展.报告综述了最近几年高功率光子晶体光纤飞秒激光技术的研究成果,介绍了基于光子晶体光纤的飞秒激光振荡器、放大器和应用研究.进一步阐述了这些新型飞秒激光技术在激光微纳制造以及与微纳米结构的相互作用领域的应用结果,其中重点介绍了飞秒激光在长距离绝对距离测量中的应用.这些结果让人们相信高功率飞秒激光技术普及化的未来即将到来.

摘要： 通过在材料表面构筑微纳米结构可有效地减小污损生物在材料表面的附着强度,增进防污材料的污损释放性能。有机硅弹性体(PDMS)具有良好的低表面能和低弹性模量特性,是目前污损释放型防污涂料的主要组成部分。采用射流等离子体和低压条件下的介质阻挡等离子体对PDMS表面进行了活化,通过气相沉积法研究了具有不同反应基团(氯、甲氧基、乙氧基)和末端基团(十二烷基、辛基、丙基、苯基)的有机硅烷在活化的PDMS表面的反应性能,通过红外光谱和X射线光电子能谱对PDMS活化表面和有机硅烷自组装表面进行了表征,通过原子力显微镜和扫描电镜对有机硅烷自组装表面的形貌进行了观察。结果表明,低压条件下的介质阻挡等离子体可对PDMS表面成功进行活化;有机氯硅烷、三甲氧基胺基硅烷可在活化的PDMS表面组装并获得微纳米级的柱状或沟壑状微结构表面。

摘要： 通过在材料表面构筑微纳米结构可有效地减小污损生物在材料表面的附着强度,增进防污材料的污损释放性能。有机硅弹性体(PDMS)具有良好的低表面能和低弹性模量特性,是目前污损释放型防污涂料的主要组成部分。本文通过射流等离子体和低压条件下的介质阻挡等离子体对PDMS表面进行了活化,通过气相沉积法研究了具有不同反应基团(氯、甲氧基、乙氧基)和末端基团(十二烷基、辛基、丙基、苯基)的有机硅烷在活化的PDMS表面的反应性能,通过红外光谱和X射线光电子能谱对PDMS活化表面和有机硅烷自组装表面进行了表征,通过原子力显微镜和扫描电镜对有机硅烷自组装表面的形貌进行了观察。结果表明,低压条件下的介质阻挡等离子体可对PDMS表面成功进行活化;有机氯硅烷、三甲氧基胺基硅烷可在活化的PDMS表面组装并获得微纳米级的柱状或沟壑状微结构表面。

摘要： 聚合物由于具有长链的结构和在自组织过程中能够形成各向异性自组装体的特点，所以物理性质往往变现为各向异性。电活性聚合物由于在外电场的作用下其物理或化学性质能够发生变化而在近些年受到广泛关注。在近些年发展了利用纳米压印过程中模板的纳米空间受限作用调控电活性聚合物的晶体和分子取向的方法，发现了结晶性聚合物在二维纳米空间受限条件下的取向规律，并且利用高度取向有序的电活性聚合物(例如聚唆吩poly(3-hexylthiophene)和偏氟乙烯与三氟乙烯共聚物P(VDF-TrFE)纳米阵列构筑了有机太阳能电池、高密度存储器等有机电子器件，极大地提高了它们的性能.

摘要： 导电高分子材料通常是指具有导电功能、电导率在10} S/cm以上的一类聚合物材料。其中聚乙炔、聚苯胺、聚毗咯、聚唾吩、聚吠喃等共扼聚合物由于其分子结构经掺杂处理之后具有导电功能被称为本征型导电高分子材料。本课题组在该领域主要开展了两个方面的工作:将具有高电导性的碳纳米管劝引入到导电聚苯胺((PANI)中得到具有高电学性能的柔性复合材料，并考察其在柔性电子导线方面的应用;将磁性纳米颗粒引入到聚吡咯(PPy)体系中，制备得到具有规整微纳米结构的复合材料并考察其在微波吸收方面的应用。

摘要： 表面增强拉曼光谱(SERS)由于其灵敏度高、选择性好等特点,在化学、生物等方面应用非常广泛.对于某些分子来说,SERS的灵敏度可以比常规拉曼光谱强几百万倍.而对于SERS这种检测手段来说,快速地制备出一种新型的SERS基底并将其用于对目标分子的检测是非常重要的.多环芳烃是一系列含有两个以上苯环的持久性有机污染物,具有较高的致癌概率.多环芳烃常存在于燃料的加工过程、垃圾的填埋与处理、汽车尾气及地沟油中等.多环芳烃难溶于水,易溶于有机溶剂,且很难与传统的贵金属(金、银、铜)溶胶结合达到检测的目的,因此若采用SERS手段对多环芳烃进行检测就必须制备合适的基底.最近我们利用泡沫镍的支撑作用制备了一种新型的SERS基底,并对基底进行了修饰,形成了具有超疏水性质的SERS基底,进而利用超疏水的特性对多环芳烃进行SERS检测.

摘要： 表面增强拉曼光谱(SERS)由于其灵敏度高、选择性好等特点,在化学、生物等方面应用非常广泛.对于某些分子来说,SERS的灵敏度可以比常规拉曼光谱强几百万倍.而对于SERS这种检测手段来说,快速地制备出一种新型的SERS基底并将其用于对目标分子的检测是非常重要的.多环芳烃是一系列含有两个以上苯环的持久性有机污染物,具有较高的致癌概率.多环芳烃常存在于燃料的加工过程、垃圾的填埋与处理、汽车尾气及地沟油中等.多环芳烃难溶于水,易溶于有机溶剂,且很难与传统的贵金属(金、银、铜)溶胶结合达到检测的目的,因此若采用SERS手段对多环芳烃进行检测就必须制备合适的基底.最近我们利用泡沫镍的支撑作用制备了一种新型的SERS基底,并对基底进行了修饰,形成了具有超疏水性质的SERS基底,进而利用超疏水的特性对多环芳烃进行SERS检测.

摘要： 本发明涉及制造用于形成光电结构(10)的至少一个半导体微或纳米线的方法。所述方法包括如此步骤，提供半导体衬底(100)、在所述衬底(100)上形成晶态的所谓缓冲层(110)，所述缓冲层(110)在部分厚度上具有主要由Mg

摘要： 本发明公开了一种具有表面纳米孔隙结构的微纳米生物活性玻璃微球及其制备方法。该方法包括以下步骤：（1）将水，乙醇，四水合硝酸钙混合成水相溶液；将正硅酸乙酯和环己烷混合成油相溶液；（2）将水相溶液和油相溶液混合，然后依次加入表面活性剂、催化剂、磷酸三乙酯，搅拌均匀，得生物活性玻璃凝胶溶液；（3）将生物活性玻璃凝胶溶液离心分离，清洗得到湿态凝胶沉淀，再干燥，得到生物活性玻璃凝胶粉末；（4）将所得生物活性玻璃凝胶粉末在高温炉中热处理，得具有表面纳米孔隙结构的微纳米生物活性玻璃微球。该微纳米生物活性玻璃微球具有良好的分散性，高的比表面积，可用于负载药物、生物活性分子等，是一种理想的微纳米骨修复载体微球。

摘要： 本发明涉及制造用于形成光电结构(10)的至少一个半导体微或纳米线的方法。所述方法包括如此步骤，提供半导体衬底(100)、在所述衬底(100)上形成晶态的所谓缓冲层(110)，所述缓冲层(110)在部分厚度上具有主要由Mg

摘要： 本发明提供一种微纳米气浮过滤结构和微纳米气浮过滤装置，该微纳米气浮过滤结构包括容纳腔、旋转驱动单元和膜过滤单元，膜过滤单元设置在容纳腔内，旋转驱动单元设置在容纳腔外，旋转驱动单元驱动膜过滤单元旋转，膜过滤单元包括中空旋转轴和过滤膜，中空旋转轴内设置有渗液通道，过滤膜均设置在中空旋转轴上，过滤膜内设置有产水通道，产水通道与渗液通道连通，容纳腔内设置有气浮曝气单元，气浮曝气单元设置在过滤膜的下方，气浮曝气单元能排出微纳米气泡；该微纳米气浮过滤装置包括上述微纳米气浮过滤结构。本发明能减少膜表面沉积物，提高过滤效率和稳定性。

摘要： 本发明公开了一种具有表面纳米孔隙结构的微纳米生物活性玻璃微球及其制备方法。该方法包括以下步骤：（1）将水，乙醇，四水合硝酸钙混合成水相溶液；将正硅酸乙酯和环己烷混合成油相溶液；（2）将水相溶液和油相溶液混合，然后依次加入表面活性剂、催化剂、磷酸三乙酯，搅拌均匀，得生物活性玻璃凝胶溶液；（3）将生物活性玻璃凝胶溶液离心分离，清洗得到湿态凝胶沉淀，再干燥，得到生物活性玻璃凝胶粉末；（4）将所得生物活性玻璃凝胶粉末在高温炉中热处理，得具有表面纳米孔隙结构的微纳米生物活性玻璃微球。该微纳米生物活性玻璃微球具有良好的分散性，高的比表面积，可用于负载药物、生物活性分子等，是一种理想的微纳米骨修复载体微球。

摘要： 本实用新型提供一种微纳米气浮过滤结构和微纳米气浮过滤装置，该微纳米气浮过滤结构包括容纳腔、旋转驱动单元和膜过滤单元，膜过滤单元设置在容纳腔内，旋转驱动单元设置在容纳腔外，旋转驱动单元驱动膜过滤单元旋转，膜过滤单元包括中空旋转轴和过滤膜，中空旋转轴内设置有渗液通道，过滤膜均设置在中空旋转轴上，过滤膜内设置有产水通道，产水通道与渗液通道连通，容纳腔内设置有气浮曝气单元，气浮曝气单元设置在过滤膜的下方，气浮曝气单元能排出微纳米气泡；该微纳米气浮过滤装置包括上述微纳米气浮过滤结构。本实用新型能减少膜表面沉积物，提高过滤效率和稳定性。

摘要： 本发明提供一种金属微纳米结构及端面具有该结构的光纤，所述金属微纳米结构包括金属薄膜及形成于金属薄膜中的微纳米图案，其中：所述微纳米图案将金属薄膜划分为周期性结构及嵌入所述周期性结构中的缺陷结构；所述缺陷结构破坏所述周期性结构的局部周期性；所述周期性结构至少在一个维度上的周期T满足0.75λ＜T＜1.25λ，其中λ为所述金属薄膜与介质交界面形成的表面等离激元的波长；所述表面等离激元可在所述缺陷结构中或所述缺陷结构及其附近区域进行谐振。本发明的光纤结合了单模光纤系统传输稳定、体积小、使用灵活等优点，利用金属微纳米结构作为分布式反馈谐振腔结构，高效地激发了表面等离激元谐振，可以进行各种光纤探测应用。

摘要： 制造微纳米结构组件的方法，包括：提供滤膜；提供MEMS传感器，MEMS传感器上具有开口且能够经该开口进行感测；将滤膜结合到MEMS传感器上，使得滤膜覆盖开口。提供滤膜包括：将覆有光刻胶层(106)的基板(108)加热以软化光刻胶层(106)；用模具对基板(108)加压，模具由叠合的图案层(104)和背层(102)组成，背层(102)受到加压以使得图案层(104)接触光刻胶层(106)；在持续用模具对光刻胶层(106)加压的同时冷却光刻胶层(106)以使其固化，从而在光刻胶层(106)上形成与图案层(104)相符的图案；移除模具；通过干蚀刻移除在图案上残留的光刻胶；在光刻胶层(106)上沉积滤膜材料(107)；从基板(108)剥离光刻胶层(106)。

摘要： 制造微纳米结构组件的方法，包括：提供滤膜；提供MEMS传感器，MEMS传感器上具有开口且能够经其进行感测；将滤膜结合到MEMS传感器上使滤膜覆盖开口。提供滤膜包括：将基板(108)覆以滤膜材料层(107)，在滤膜材料层上再覆以光刻胶层(106)；对基板(108)加热以软化光刻胶层；用模具对基板(108)加压，模具由叠合的图案层(104)和背层(102)组成，背层受到加压以使得图案层接触光刻胶层；在持续用模具对光刻胶层加压的同时冷却光刻胶层以使其固化，在光刻胶层上形成与图案层相符的图案；移除模具；通过干蚀刻移除在图案上残留的光刻胶；以光刻胶层为掩模，对滤膜材料层(107)进行干蚀刻或湿蚀刻以将光刻胶层的图案转移到滤膜材料层上。

摘要： 本发明提供一种金属微纳米结构及端面具有该结构的光纤，所述金属微纳米结构包括金属薄膜及形成于金属薄膜中的微纳米图案，其中：所述微纳米图案将金属薄膜划分为周期性结构及嵌入所述周期性结构中的缺陷结构；所述缺陷结构破坏所述周期性结构的局部周期性；所述周期性结构至少在一个维度上的周期T满足0.75λ＜T＜1.25λ，其中λ为所述金属薄膜与介质交界面形成的表面等离激元的波长；所述表面等离激元可在所述缺陷结构中或所述缺陷结构及其附近区域进行谐振。本发明的光纤结合了单模光纤系统传输稳定、体积小、使用灵活等优点，利用金属微纳米结构作为分布式反馈谐振腔结构，高效地激发了表面等离激元谐振，可以进行各种光纤探测应用。