微光学

摘要： 光学器件的微型化和集成化是当前研究的热点,其中利用微纳结构实现局域电磁改性的超构光学更是引人关注。本文从微纳结构的制备出发,总结了利用超衍射精密加工的飞秒激光直写技术,制备偏振转换器件和几何相位器件的工作。介绍了微纳结构改性的物理机制,飞秒激光直写光刻胶、飞秒激光烧蚀金属薄膜、飞秒激光诱导纳米光栅等手段在偏振转换器件和几何相位器件制备方面的进展,展望了飞秒激光微纳加工技术在超构光学器件制备方面的挑战。

摘要： 4月8日晚,摩托罗拉g7 plus在京发布,一场“moto老友记”在现场召唤了五位摩托罗拉资深玩家。在现场,摩托罗拉产品规划总监高峰公布了g7 plus的产品亮点,凭借不懈的创新和技术迭代,摩托罗拉在4月迎来了开年第一款新品。外观设计方面,摩托罗拉g7 plus采用了0.1mm微光学彩色膜片,因此机身表面具有金属矿物质感。

摘要： 随着我国科学技术不断创新,"纳米技术"得到更多广泛应用,本文通过对面向微光学元件加工的纳米压印设备的优化设计进行分析研究,将其实质性、重要性进行明确阐述,采用理论概述、原理论述及设计对策等方法,结合问题现状,提出优化建议,为纳米压印设备的实际应用奠定基础.

摘要： 微透镜阵列热压精密成型需要时间保温,生产效率较低.因此,提出在模芯加热表面的微沟槽阵列上对聚合物导光板进行热压,使工件热变形的微米尺度表面层流入微沟槽空间内,快速形成微拱形透镜阵列,而保证工件主体不变形.目的是实现高效率和低能耗的微光学透镜阵列热压成型加工.首先,针对导光板表面的微阵列结构和尺寸分析其微光学性能;然后,使用微磨削技术在模芯表面加工出高精度和光滑的微沟槽阵列结构;最后,研究微拱形阵列的快速精密成型工艺及微光学应用.微光学分析显示,微阵列的高度和分布密度对出光面的光照度影响较大.热压工艺实验结果表明,采用深度为104μm和角度为121°的微沟槽阵列模芯,在12 M Pa的压力和110°C的温度下,可以在3s内将高度为50μm的3D微拱形阵列导光板快速精密热压成型.本文方法制作的87 mm×84 mm的导光板,与市面具有2D点阵且高度为8.2μm的丝网印刷导光板相比,光照度提高了21%,光照均匀度提高了27%.本文研究将促进微光学精准设计和制造在L ED照明产业的应用.%The precision hot embossing of microlens array needs heat preservation time ,leading to poor efficiency .Hence ,a rapid hot embossing of micro-arch array on polymer light guide plate (LGP) is proposed using a heated microgrooved die core .It only performs a thermal deformation for micro-scale surface layer flowing inside microgroove spaces without changing macro workpiece sizes .The objective is to develop the hot embossing process of microlens array of micro-optics with high machining efficiency and low energy-consumption .First ,the micro-optics performances of LGP are analyzed with regard to the shape and size of micro-arch array ;then the micro-grinding is employed to machine precision and smooth microgroove array on steel die core ;finally , the rapid and accurate forming process of micro-arch array and its micro-optics application are studied . The micro-optics analyses show that the height and distribution density of micro-arch array greatly influence the micro-optics performance .The hot embossing experiments show that by using a microgroove array die core with an average groove depth of 104 μm and an average groove angle of 121° ,the 50-μm-height 3D micro-arch array may be precisely formed in 3 s in the case of 12 M Pa in loading pressure and 110 °C in loading temperature .Compared with the general screen-printing 2D micro-dot array with 8 .2-μm-height ,the LGP patterned with micro-arch array increases the LGP irradiance intensity by 21% and its uniformity by 27% ,respectively .It contributes to the micro-optics precision design and fabrication applied for LED lighting industry .

摘要： 薄壁LED照明依赖丝网印刷的微阵列导光板,但其表面油墨点阵易老化,且微结构很难优化。因此,在导光板表面设计出高斯分布的空间微槽透镜阵列,并采用数控微磨削技术对其进行加工,替代市面丝网印刷的2D微圆阵列。首先,用微光学原理模拟导光板导光效率和出光均匀度,优化微透镜阵列的形状、尺寸和分布。利用金刚石砂轮微尖端在PMMA导光板表面精密磨削出微透镜阵列,检测其导光效率及均匀性。最后,利用微磨削加工的微阵列成型钢模芯开发微透镜阵列的快速热压微成型工艺。微光学分析表明,微槽透镜阵列比微方形透镜阵列和微半球透镜阵列分别提高导光效率6%和15%。而且,微槽透镜阵列变间距高斯分布比等间距分布提高导光效率32%,提高出光均匀度73%。试验结果显示,微磨削可以控制微槽透镜阵列加工的表面质量和形状精度,应用于LED导光板后比丝网印刷的导光板提高导光效率7%和出光均匀度9%。此外,开发3 s的快速热压微成型工艺,可以加工出变间距和变深度的微槽透镜阵列,比丝网印刷的微圆阵列提高照度26%和出光均匀度49%。因此,微空间结构优化的微槽透镜阵列比丝网印刷的2D微圆阵列可附加出更高的微光学应用价值。

摘要： 基于严格耦合波分析法分析了亚波长光栅波前调控的方法,设计了具有凸透镜、锥透镜和闪耀光栅功能的三种亚波长光栅结构,以平面方式制备了具有聚焦和闪耀效果的三种微纳结构波前调控器.计算了不同光栅厚度、光栅齿和光栅槽宽度下的光栅透射率,通过选择合适光栅参数组合,得到三种波前调控器透射率均在97%以上.硅基平面结构与常规结构器件性能相比,平面和常规透镜、锥透镜在聚焦效果上,焦斑的半高全宽近似相等,峰值强度提高了1.64和2.35倍;平面相对常规闪耀光栅的峰值强度提高了3.77倍.

摘要： 介绍了微透镜及其阵列的产生与发展，分析和比较了微透镜的制备方法。此外，结合微透镜的光学性质简述了微透镜的应用，并展望了微透镜的应用前景。

摘要： 介绍了微透镜及其阵列的产生与发展,分析和比较了微透镜的制备方法。此外,结合微透镜的光学性质简述了微透镜的应用,并展望了微透镜的应用前景。

摘要： 针对微光学器件，建立了一种基于数字显微全息原理的微光学三维测量系统，该测量系统能实现微光学器件的三维测量，通过计算分析能获得透镜的相关物理参数。以SUSS微透镜为实验样本，测量结果表明，基于数字显微全息的微光学三维测量系统能很好的实现不同种类微光学器件的三维测量和物理参数分析。

摘要： 微系统是以微纳尺度理论为支撑,以微纳制造及工艺等为基础,不断融入微机械、微电子、微光学、微能源、微流动等各种技术,具有微感知、微处理、微控制、微传输、微对抗等功能,并通过功能模块的集成,实现单一或多类用途的综合性前沿技术。微系统是一项多学科交叉的新兴高新技术,在信息、生物、航天、军事等领域具有广泛的应用前景,对于国家保持技术领先优势具有重要意义。引发武器装备重大变革

摘要： 本文介绍应用三维微光学元件为新一代光镊系统提供具有光学旋涡的光束,从而实现光学角动量与被捕获微颗粒的高效率转换.具有位相奇点的光束,如拉盖尔-高斯模式,由于其位相在2π的周期内会出现至少一个或多个不连续点,在传播的过程中该光束的位相波前呈螺旋状旋转,因而会导致光斑中心光强为0.与传统方法相比,采用微光学元件能够实现高效率的激光模式转换,同时微光学元件具有与其他器件可集成的优点,因此,微光学在新一代光镊及其应用的微小型化、集成化、低成本和一次性使用等方面意义重大.

摘要： 作为便携式生物化学分析器的核心技术,生物芯片在近十年中发展非常迅猛.它通过微加工和生化处理等技术,将成千上万的生命信息集成在很小的芯片上,在芯片上进行一系列生化反应,并通过检测结果获得相关信息.生物芯片发展的最终目标是将从样品制备、化学反应到检测的整个生化分析过程集成化以获得所谓的微全分析系统或称缩微芯片实验室.文章提出一种在微全分析系统中担任探测功能的微光学集成探测器.该探测器是基于激光诱导荧光探测原理,光束经耦合光栅进入平面导波层照射标记了荧光染料的样品,被激发的荧光由微透镜阵列组收集并会聚到探测面,并与一特殊设计的微腔集成,实现生化反应与在线探测.该探测器集成度高,探测灵敏,功能全,成本低,可以应用于中等密度的DNA点阵杂交芯片等生物芯片的探测,有希望集成到如便携式DNA突变诊断仪等微全分析系统中.

摘要： 微光学技术是90年代发展起来的光电学科前沿技术,是光电技术走向列阵化、微型化、智能化的主要发展方向.本文就微光学的原理、工艺方法、主要应用发展趋势以及我们开展的研究进行叙述.

摘要： 结合光子筛与二元衍射光学元件，提出一种新型的具有更高衍射效率的光子筛——二元光子筛，这种光子筛是在对应菲涅尔透光环带及不透光环带上都分布大量透光小孔，而分布在透光环带与不透光环带上的小孔有π位相差。研究二元光子筛的设计理论方法;根据设计指标设计二元光子筛，通过多次光刻、反应离子蚀刻等微加工工艺制作出二元光子筛;并对制作的二元光子筛，展开如衍射效率、透射波前等特性测试。

摘要： 结合光子筛与二元衍射光学元件，提出一种新型的具有更高衍射效率的光子筛——二元光子筛，这种光子筛是在对应菲涅尔透光环带及不透光环带上都分布大量透光小孔，而分布在透光环带与不透光环带上的小孔有π位相差。研究二元光子筛的设计理论方法;根据设计指标设计二元光子筛，通过多次光刻、反应离子蚀刻等微加工工艺制作出二元光子筛;并对制作的二元光子筛，展开如衍射效率、透射波前等特性测试。

摘要： 结合光子筛与二元衍射光学元件，提出一种新型的具有更高衍射效率的光子筛——二元光子筛，这种光子筛是在对应菲涅尔透光环带及不透光环带上都分布大量透光小孔，而分布在透光环带与不透光环带上的小孔有π位相差。研究二元光子筛的设计理论方法;根据设计指标设计二元光子筛，通过多次光刻、反应离子蚀刻等微加工工艺制作出二元光子筛;并对制作的二元光子筛，展开如衍射效率、透射波前等特性测试。

摘要： 结合光子筛与二元衍射光学元件，提出一种新型的具有更高衍射效率的光子筛——二元光子筛，这种光子筛是在对应菲涅尔透光环带及不透光环带上都分布大量透光小孔，而分布在透光环带与不透光环带上的小孔有π位相差。研究二元光子筛的设计理论方法;根据设计指标设计二元光子筛，通过多次光刻、反应离子蚀刻等微加工工艺制作出二元光子筛;并对制作的二元光子筛，展开如衍射效率、透射波前等特性测试。

摘要： 近年来,随着光通信突飞猛进的发展,推动了微光机电系统(MOEMS)的发展.MOEMS是将电子、光学和机械器件集成在一起的微型组件或系统,可采用集成电路(IC)工艺进行批量生产,其尺寸在微米至毫米范围之间.这种系统可在微域内实现自动控制、检测、执行任务,并在宏观上实现特定的功能.本文从MOEMS器件的制作工艺、设计及应用等方面作了探讨,对其前景作了展望,MOEMS器件将在光通信、光开关、光数据存储、光互连等领域广泛应用.

摘要： 近年来,随着光通信突飞猛进的发展,推动了微光机电系统(MOEMS)的发展.MOEMS是将电子、光学和机械器件集成在一起的微型组件或系统,可采用集成电路(IC)工艺进行批量生产,其尺寸在微米至毫米范围之间.这种系统可在微域内实现自动控制、检测、执行任务,并在宏观上实现特定的功能.本文从MOEMS器件的制作工艺、设计及应用等方面作了探讨,对其前景作了展望,MOEMS器件将在光通信、光开关、光数据存储、光互连等领域广泛应用.

摘要： 近年来,随着光通信突飞猛进的发展,推动了微光机电系统(MOEMS)的发展.MOEMS是将电子、光学和机械器件集成在一起的微型组件或系统,可采用集成电路(IC)工艺进行批量生产,其尺寸在微米至毫米范围之间.这种系统可在微域内实现自动控制、检测、执行任务,并在宏观上实现特定的功能.本文从MOEMS器件的制作工艺、设计及应用等方面作了探讨,对其前景作了展望,MOEMS器件将在光通信、光开关、光数据存储、光互连等领域广泛应用.

摘要： 本发明涉及一种用于EUV波长范围的反射光学元件39，包括施加在基板的表面上的层布置，其中，层布置包括由单独层的至少一个周期的周期序列构成的至少一个层子系统37，其中，所述周期包括在EUV波长范围中具有不同折射率的两个单独层，其中，基板至少沿假想表面30具有按体积超过1％的密度变化，假想表面在距所述表面0μm和100μm之间的固定距离处，并且其中，基板通过保护层或通过层布置的保护层子系统或者通过基板的相应致密的表面区域35来防范因EUV辐射引起的长期老化或致密化。此外，本发明涉及一种制造这种反射光学元件的方法。而且，本发明涉及一种校正这种反射光学元件的方法、一种包括这种光学元件的投射镜头以及一种包括这种投射镜头的投射曝光设备。

摘要： 本发明涉及微光刻投射曝光设备的光学系统和微光刻曝光方法。微光刻投射曝光设备的光学系统包括具有镜布置(200)的照明装置(10)和至少一个偏振态改变装置，该镜布置(200)具有可彼此独立调整的多个镜元件(200a、200b、200c、……)，用于改变由该镜布置(200)反射的光的角度分布，偏振态改变装置例如光弹性调制器(100)。

摘要： 本发明涉通过辐射可固化的涂料组合物在制造微光学结构中的用途，所述涂料组合物包含i)至少一种通过辐射可固化的化合物，ii)至少一种链转移剂和iii)至少一种选自以下的反应性稀释剂：二丙二醇二丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇二丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇二甲基丙烯酸酯、酯二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、3‑甲基‑1,5‑戊二醇二丙烯酸酯、癸二醇二丙烯酸酯、1,6‑己二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯、和上述反应性稀释剂的乙氧基化衍生物，其中通过辐射可固化的涂料组合物的在20°C的温度下根据EN ISO 3219：1994测量的粘度小于1000mPa.s以用于制造微光学或纳光学结构。

摘要： 本发明具有一层状微光学结构的微光学基板及一具有一层状微光学结构的发光二极管，尤指一种具有一有序的纳米级层状微光学结构的发光二极管。本发明的具有一层状微光学结构的发光二极管是包括：一基板；一位于此基板的表面的第一半导体层；一位于此第一半导体层的表面并具有多个微凹穴的发光层；一位于此发光层的表面的第二半导体层；一电连接于此基板的第一电接触部；以及一电连接于此第二半导体层的第二电接触部。

摘要： 本发明公开了一种基于微光子结构无源谐振腔的微光学陀螺，该微光学陀螺中光源(1)的输出端和集成光学调制器(2)的A端相连；集成光学调制器(2)的B端与第一光纤耦合器(3)的C端相连，集成光学调制器(2)的C端与第二光纤耦合器(6)的C端相连；第一光纤耦合器(3)的B端与微光子结构无源谐振腔(5)的A端相连，第一光纤耦合器(3)的A端与第一探测器(4)相连；第二光纤耦合器(6)的B端与微光子结构无源谐振腔(5)的B端相连，第二光纤耦合器(6)的A端与第二探测器(7)相连；陀螺检测控制电路(8)的控制端与光源(1)的输入端相连；陀螺检测控制电路(8)接收第一探测器(4)和第二探测器(7)输出的光强信号。通过控制微光子结构使传播光的频率在其禁带范围内，构成反射镜的全角反射率可以接近100%。

摘要： 本发明涉通过辐射可固化的涂料组合物在制造微光学结构中的用途，所述涂料组合物包含i)至少一种通过辐射可固化的化合物，ii)至少一种链转移剂和iii)至少一种选自以下的反应性稀释剂：二丙二醇二丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇二丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇二甲基丙烯酸酯、酯二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、3‑甲基‑1,5‑戊二醇二丙烯酸酯、癸二醇二丙烯酸酯、1,6‑己二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯、和上述反应性稀释剂的乙氧基化衍生物，其中通过辐射可固化的涂料组合物的在20°C的温度下根据EN ISO 3219：1994测量的粘度小于1000mPa.s以用于制造微光学或纳光学结构。

摘要： 一种微光学设备，包括多个微小光学元件，每一个微小光学元件具有可操作来会聚入射光的曲面。该微小光学元件以固定的间隔进行设置。所述曲面由两个或更多的F值进行表示。

摘要： 本发明提供一种微光学结构的设计制造方法，获得第一微光学结构的设计结构和第一光学参数以及使用的第一胶水材料，以确定其中的对应关系；获得微光学结构的目标光学参数，其中目标光学参数通过设计要求或产品用途确定；根据第一光学参数和目标光学参数，向第一胶水材料中添加第二物质；利用添加了第二物质的第一胶水材料，不改变设计结构，制备微光学结构。在生产制备不同光学性能的微光学结构时，采用本发明提供的设计制造方法，无需调整微光学结构中光学单元的设计结构，节省了设计和开模的成本和时间，提高了生产效率，减少了使用的胶水种类，节省了采购成本和储存成本。本发明的还提供了一种微光学结构，应用前述的设计制造方法生产制备。

摘要： 本发明具有一层状微光学结构的微光学基板及一具有一层状微光学结构的发光二极管，尤指一种具有一有序的纳米级层状微光学结构的发光二极管。本发明的具有一层状微光学结构的发光二极管是包括：一基板；一位于此基板的表面的第一半导体层；一位于此第一半导体层的表面并具有多数个微凹穴的发光层；一位于此发光层的表面的第二半导体层；一电连接于此基板的第一电接触部；以及一电连接于此第二半导体层的第二电接触部。

摘要： 本发明公开了一种基于微光子结构无源谐振腔的微光学陀螺，该微光学陀螺中光源(1)的输出端和集成光学调制器(2)的A端相连；集成光学调制器(2)的B端与第一光纤耦合器(3)的C端相连，集成光学调制器(2)的C端与第二光纤耦合器(6)的C端相连；第一光纤耦合器(3)的B端与微光子结构无源谐振腔(5)的A端相连，第一光纤耦合器(3)的A端与第一探测器(4)相连；第二光纤耦合器(6)的B端与微光子结构无源谐振腔(5)的B端相连，第二光纤耦合器(6)的A端与第二探测器(7)相连；陀螺检测控制电路(8)的控制端与光源(1)的输入端相连；陀螺检测控制电路(8)接收第一探测器(4)和第二探测器(7)输出的光强信号。通过控制微光子结构使传播光的频率在其禁带范围内，构成反射镜的全角反射率可以接近100％。