工具显微镜

摘要： 工具显微镜的测量过程比较繁琐,劳动强度大,测量效率低,人为误差大.根据当前国内外同类仪器数字化的趋势,应用光栅位移测试技术、CCD摄像技术和数字图像处理技术,将工具显微镜改造成为微机型工具显微镜——准自动化数字仪器.使之操作简单,具有丰富测量功能.这样既简化了操作过程、提高测量速度,又提升了测量性能.改造后的数字化显微镜能够测量处于同一平面的各种几何参数,计算距离、夹角、位置等简单的几何量以及评价二维几何公差、测量螺纹、齿轮等复杂参数.

摘要： 工具显微镜是一种多用途的光学机械式两坐标测量仪器。通常用影像法和轴切法测量精密机械零件的长度和角度，以直角坐标或极坐标方法测量机械零件的形状。

摘要： A method to measure the rotational precision of a flexural joint with a large stroke was proposed to solve the problems that the flexural joint has relatively smaller rotational error and its rotational precision is difficult to be measured directly. Firstly, five kinds of criterions to evaluate the rotational precision were proposed and compared. Then, a proper criterion was chose, and an indirect method to measure the center-shift and stiffness of the flexural joint was developed according to the criterion. With the method, a measuring microscope was used to survey the coordinates of two mark points on the flexural joint, by which the rotational angle and the position of the real rotational center could be calculated, and the central shift of rotation and its shift direction also could be obtained. An experimental platform was built based on the method, and an isosceles trapezoidal flexural joint was used to validate the method. Experiments show that the rotational precision and the stiffness of the flexural joint can be measured at the same time in the experiment. The results are compared with the finite element analysis simulation and it indicates that the error of the experimental result is less thanrn0.006 mm, which satisfies the requirement of precision test for most common flexural joints with large-strokes.%针对大行程柔性铰链铰链运动范围较大,转动误差相对较小,实现其转动精度的测量比较困难的问题,提出了一种间接测量大行程柔性铰链转动精度的方法.首先对柔性铰链转动精度的衡量指标进行定义和比较；然后选择合适的指标,提出间接测量该柔性铰链转动中心漂移量和刚度的方法.该方法利用工具显微镜测量铰链运动刚体上的两个特征点在转动过程中的坐标值,从而解算出柔性铰链在不同转角时转动中心点的位置.由此不仅得到了转动中心漂移的大小,还可以得到轴漂的方向.基于该方法搭建了实验平台并对实验误差进行了分析,分析显示其误差主要为特征点坐标的测量误差.实验结果与有限元仿真对比表明,测量结果的误差小于0.006 mm,基本满足对大行程柔性铰链精度测试的要求.

摘要： 产品检测在半导体、精密制造、包装印刷等行业应用广泛且需求迫切,但检测手段一直在离线检测（如工具显微镜、投影测量仪和体视显微镜等传统设备）或人工检测的技术中徘徊。近些年随着产品的高档化和微型化,加工订单的国际化,对检测的要求越来越高,精度从0.01mm向0.001mm过渡,

摘要： 在生产中有一种产品,其局部视图如图1所示,一端为锥度,大端在外,锥度单边角度为α±2°,大端尺寸为D±0.02mm,该角度的加工可以通过调整机床床身导轨来实现,在大型工具显微镜上检测合格后锁紧床身导轨即可。

摘要： 借助工具显微镜测量金属制品的渗锌层深,相比磁性法测量准确,相比金相显微法测量误差小,相比扫描电镜分析方法成本更低；利用工具显微镜CCD摄像及软件中的直线间求距功能测量渗锌层深.

摘要： 借助工具显微镜测量金属制品的渗锌层深,相比磁性法测量准确,相比金相显微法测量误差小,相比扫描电镜分析方法成本更低；利用工具显微镜CCD摄像及软件中的直线间求距功能测量渗锌层深.

摘要： 结合工作实际经验,介绍了光学仪器中的几种光阑及光阑在工具显微镜中的实际使用,有助于工具显微镜的故障分析及仪器的修理,及使用工具显微镜测量时误差的分析.

摘要： 借助工具显微镜测量金属制品的渗锌层深，相比磁性法测量准确，相比金相显微法测量误差小，相比扫描电镜分析方法成本更低；利用工具显微镜CCD摄像及软件中的直线间求距功能测量渗锌层深。

摘要： 计量仪器的示值误差在很大程度上反映了仪器的准确度,因此是计量仪器检定中的一个最重要的检定项目,需要检定人员作出科学准确的评价。文章针对检定读数、测量显微镜和大、小型及万能工具显微镜的示值误差时,检定人员需要注意的事项进行了归纳和说明,并对规程中的规定提出了疑问。

摘要： 介绍通过测量圆弧上多个点的坐标，采用非线性最小二乘的方法对这些坐标点进行处理，得到一个拟合的最小二乘圆，进而求得该圆的直径和圆心坐标。经过多次试验，在万能工具显微镜上或坐标测量机上测量圆上的10个样本点，并进行最小二乘拟合处理，能在一定程度上弥补测量设备的不足，结果受个别大误差数据的影响较小，能够较好地满足测量要求。

摘要： 介绍了使用面阵CCD和基于PCI总线的图像采集卡为硬件电路,MATLAB和VISUAL C为软件核心组成的分立式万能工具显微镜目镜自动读数装置,实现在电脑屏幕上实时显示采集到的图像,得到所选图形的测试结果.系统通过软件控制图像的存储,利用最大类间方差法二值化、放大、调平、滤波、灰度均衡等方法处理图像,由模板匹配方法识别出最后的数字,实现了自动采集和自动识别读数.

摘要： 由于科学技术的发展,设备无形磨损的速度越来越快,以更新的手段提高设备构成的先进性、加工精度和劳动生产率成为迫切需求。本文介绍了对现有万能工具显微镜所进行的微机化技术改造和功能开发,叙述了微机型三坐标万能工具显微镜测量系统的基本配置、测量系统和系统软件,以及它的特点。

摘要： 介绍了19JC数显型万能工具显微镜上应用的一种新结构的光栅读数头，并与国外FERRANti公司的250条／毫米相位光栅读数头作了比较，进行了精度分析，总结了能成功地适宜于批量生产的这种光栅读数头的主要特点。（本刊录）

摘要： 提供一种能够高速切换观察视野、能够观察大视野的显微镜用光学模块、显微镜、显微镜用光学模块控制装置以及多光子激发显微镜。本发明的显微镜用光学模块附加于显微镜的物镜光束侧，该显微镜用光学模块具有：具有光学元件的光轴偏移光学系统；光轴偏移光学系统支承单元，其将所述光轴偏移光学系统相对于所述显微镜的物镜光束定位设定；以及转动单元，其配置于所述光轴偏移光学系统支承单元，并将所述光轴偏移光学系统支承为相对于所述物镜光束的光轴能够旋转。

摘要： 本发明提供的显微镜物镜，包括同光轴设置的十四片球面透镜，所述十四片球面透镜从物方至像方依次包括：第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3)、第四透镜(L4)、第五透镜(L5)、第六透镜(L6)、第七透镜(L7)、第八透镜(L8)、第九透镜(L9)、第十透镜(L10)、第十一透镜(L11)、第十二透镜(L12)、第十三透镜(L13)及第十四透镜(L14)，本发明提供的显微镜物镜，在保证高数值孔径高分辨率的同时，物方视场显著增大，实现了500nm至800nm波段的复消色差，很好地消除了球差、彗差、像散、场曲、畸变、倍率色差及轴向色差，满足平场复消色差物镜要求，实现了宽视场(即大视场数和低倍率)和高数值孔径的技术要求。

摘要： 本发明提供一种显微镜用光学系统。该光学系统即使在将1微米级的试样以与光学系统的最靠物体侧的面接触或邻接的方式配置的情况下，也能够使观察图像具有足够的对比度和分辨率。显微镜用光学系统具备照明光学系统(G11)和物镜光学系统，物镜光学系统从物体侧依次具有物镜组(G12)、第1成像透镜组(G13)和第2成像透镜组(G14)，并满足下述条件式。NAL×2≤NAO≤NAL×15...(1)；0.01≤NAL≤0.1...(2)；25≤MO≤100...(3)，其中，NAL是照明光学系统(G11)的数值孔径，NAo物镜组(G12)的数值孔径，Mo是物镜组(G12)的成像倍率。

摘要： 本发明涉及一种带有至少一个接头(101)的显微镜控制单元(100)，该接头可与一个或多个能电控制的显微镜组件(201、202、203、204、301、302、303、304)或者其它能电控制的组件连接，其中，所述至少一个接头(101)的至少一个接头参数可采用程序技术予以配置，其中，在所述显微镜控制单元(100)上提供至少一个带脚本指令的脚本，其中，所述至少一个接头(101)可借助所述脚本指令予以控制。本发明还涉及一种显微镜系统，其带有这种显微镜控制单元(100)和至少一个显微镜组件或其它能电控制的组件。

摘要： 提供一种能够高速切换观察视野、能够观察大视野的显微镜用光学模块、显微镜、显微镜用光学模块控制装置以及多光子激发显微镜。本发明的显微镜用光学模块附加于显微镜的物镜光束侧，该显微镜用光学模块具有：具有光学元件的光轴偏移光学系统；光轴偏移光学系统支承单元，其将所述光轴偏移光学系统相对于所述显微镜的物镜光束定位设定；以及转动单元，其配置于所述光轴偏移光学系统支承单元，并将所述光轴偏移光学系统支承为相对于所述物镜光束的光轴能够旋转。

摘要： 本发明涉及一种使用离子束制造扫描探针显微镜(SPM)的方法以及由其制造的纳米针探针，该离子束优选为聚焦的离子束。更具体而言，本发明涉及一种制造SPM纳米针探针的方法和由其制造的SPM纳米针探针，该探针能够容易地调整，以使附着于SPM纳米针探针尖端上的纳米针具有期望的指向，且该探针能够容易被准直，使附着于SPM纳米针探针尖端上的纳米针沿着期望的指向。而且，本发明涉及一种使用离子束制造临界尺寸SPM(CD－SPM)纳米针探针的方法和由其制造的CD－SPM，该探针能够精确地扫描纳米尺度的样品物体的侧壁，该离子束优选为聚焦的离子束。更具体而言，本发明涉及一种制造CD－SPM纳米针探针的方法和由其制造的CD－SPM纳米针探针，该探针能够通过将附着于SPM纳米针探针尖端上的纳米针末端的一部分向着并非附着于SPM纳米针探针尖端上的纳米针所延伸出去的初始方向的特定方向弯曲特定角度，来精确地扫描纳米尺度的样品物体的侧壁。一种使用离子束制造扫描探针显微镜(SPM)纳米针探针的方法，包括：定位所述探针，使得其上附着有所述纳米针的所述探针的尖端面向辐照所述离子束的方向；以及通过向其上附着有所述纳米针的所述探针的尖端辐照所述离子束利用所述离子束平行地排列附着于所述探针的所述尖端上的所述纳米针。一种使用离子束制造临界尺寸扫描探针显微镜(CD－SPM)纳米针探针的方法，包括：使用掩模屏蔽附着于所述探针的尖端上的所述纳米针的特定部分；以及通过在暴露于所述掩模之外的所述纳米针的部分上辐照所述离子束来沿着所述辐照的离子束的方向弯曲暴露于所述掩模之外的所述纳米针的所述部分，以排列所述纳米针的所述部分。

摘要： 描述了可用于对三维物体诸如生物细胞、生物组织或生物有机体成像的方法和系统的某些配置。该方法和系统可以以减少的成像时间和减少的数据量对三维物体成像。

摘要： 一种使用数字显微镜(2)提供组合图像的方法，数字显微镜(2)具有光学系统(25)、具有预定义的图像像素数量的图像传感器(120)和用于盛放样本(12)的平台(10)，平台(10)可相对于光学系统(25)和图像传感器(120)移动，包括接收关于样本(12)的感兴趣区域(74)的用户选择，该用户选择表明感兴趣区域(74)的位置和扩展，取决于用户选择，选择全分辨率模式和降低分辨率模式之一，其中全分辨率模式中，生成具有预定义的图像像素数量的单独的图像，其中降低分辨率模式中，生成与预定义的图像像素数量相比具有降低的图像像素数量的单独的图像，相对于光学系统(25)和图像传感器(120)移动平台(10)，并根据选择的全分辨率模式和降低分辨率模式之一生成感兴趣区域(74)的单独的图像，和将单独的图像结合成表示感兴趣区域(74)的组合图像。

摘要： 本发明包含一方法、一微粒多束显微镜和一半导体结构，以通过微粒多束显微镜的多个微粒束对半导体样品进行充电，并进行高分辨率的电压对比成像，无需切换微粒多束显微镜或移动半导体样品。在这种情况下，由各自具有低的微粒电流的所选微粒束的总和所形成的相加总电流在半导体结构中产生电荷并因此产生电压差。

摘要： 本实用新型公开了一种用于显微镜安装的显微镜安装机构及显微镜系统，所述显微镜安装机构包括安装杆、套设在安装杆上的垫块、一端在安装杆轴线上位置固定，另一端支撑垫块，且可在安装杆的轴线方向上发生弹性变形的弹性件、设置在垫块与安装杆之间，用于实现垫块与安装杆相隔离的弹性垫，所述弹性垫可在安装杆的径向方向发生弹性变形；所述弹性垫与垫块两者中，弹性垫可沿着安装杆的轴线方向滑动或垫块可沿着安装杆的轴线方向滑动。所述显微镜系统为基于所述安装机构的运用。采用本方案提供的安装机构，可实现对运行过程中的显微镜进行减震。