真空技术_国内外标准网文献检索下载

1.[标准] 真空技术　真空泵性能测量标准方法　第3部分：机械增压泵的特定参数

发布单位：
中国-国家标准(CN-GB)

标准状态：
现行

标准号：
GB/T 40344.3-2024

发布时间：
2024-04-25

中标分类：
J78 真空技术与设备

国标分类：
23.160 真空技术

实施时间：
2024-04-25

摘要：本文件描述了机械增压泵的最大容许压差、有效压缩比、零流量压缩比和溢流阀压差的测量方法和特殊要求。本文件适用于中真空或粗真空应用的机械增压泵,包括气冷式机械增压泵及多级机械增压泵系统。本文件涵盖了机械增压泵有别于常见容积真空泵的机械增压特性。最大容许压差（Δpmax）,有效压缩比（Keff），零流量压缩比（K0）和溢流阀压差（Δp1）是机械增压泵性能的特定参数。

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2.[标准] 真空技术　真空计　电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度

发布单位：
中国-国家标准(CN-GB)

标准状态：
现行

标准号：
GB/T 43916-2024

发布时间：
2024-04-25

中标分类：
J78 真空技术与设备

国标分类：
23.160 真空技术

实施时间：
2024-04-25

摘要：本文件界定了电容薄膜真空计（CDG）的相关术语，规定了电容薄膜真空计有必要给定的参数，描述了其校准过程和操作仪器过程中有必要考虑的测量不确定度。本文件适用于使用ISO 3567和ISO 27893校准CDG，并作为参考标准时的一个补充说明。

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3.[标准] 真空技术　术语

发布单位：
中国-国家标准(CN-GB)

标准状态：
现行

标准号：
GB/T 3163-2024

发布时间：
2024-09-29

中标分类：
J78 真空技术与设备

国标分类：
23.160 真空技术

实施时间：
2024-09-29

摘要：本文件界定了真空技术领域常用的基础术语、真空泵及相关术语、全压和分压真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空冶金术语，及上述术语的定义。
本文件适用于真空技术领域及相关的教学、科研、设计、制造、技术交流，以及编写相关技术文件和书刊。

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4.[标准] 真空技术真空计热阴极电离真空计规范

发布单位：
中国-国家标准(CN-GB)

标准状态：
现行

标准号：
GB/T 42604-2023

发布时间：
2023-05-23

中标分类：
J78 机械 - 通用机械与设备 - 真空技术与设备

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：
2023-05-23

摘要：本文件定义了与热阴极电离真空计相关的术语，并规定热阴极电离真空计制造商要给出的具体参数，以及在操作这些仪表时，需要考虑的测量不确定度分量。原因如下。
a）　本文件更新了ISO 3529-3:1981中给出的一些术语和定义。
b）　热阴极电离真空计通常用作参考标准，本文件为适用的实验室明确规定了便于在高真空和超高真空下正确校准真空计的相关信息。使用电离真空计开展高真空和超高真空的可溯源压力测量时，适于在制造商说明书中引述含有真空计相关参数和特征的信息。
c）　本文件还列出了与电离真空计压力测量相关的重要的不确定度分量，也给出了这些不确定度分量的评估指南。对于某些当前或未来的真空计来说，不确定度分量的清单可能并不全面。
d）　将电离真空计用作参考标准时，本文件是对ISO/TS 3567和 ISO/TS 27893的补充。

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5.[标准] 真空技术真空计放气率的测试和报告程序

发布单位：
中国-国家标准(CN-GB)

标准状态：
现行

标准号：
GB/Z 42624-2023

发布时间：
2023-05-23

中标分类：
J78 机械 - 通用机械与设备 - 真空技术与设备

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：
2023-05-23

摘要：本文件规定了真空室整体及其组件的放气率测试程序。本文件适用的放气率由应用于高真空或超高真空的设备产生，在23 ℃时小于1×10-5 Pa·m3·s-1（1×10-2 Pa·L·s-1），放气产生的各种气体或蒸气的分子量均小于300 u。
总放气率的上限1×10-5 Pa·m3·s-1与放气材料的尺寸、总表面积、材质或者状态无关。如果标称放气率（单位面积放气率）已测定，则该面积采用名义几何表面积，而非包括表面粗糙度的比表面积。当难以测定样品（如粉末、多孔材料、非常粗糙的表面或者复杂的设备等）的名义几何表面积时，采用单位质量放气率（如每克放气率）。
在许多实际应用中，只需确定总放气率。如果使用了灵敏度与气体种类有关的测试仪器，则总放气率以等效氮气放气率的形式给出。如果总放气率很高，为了改进样品材料，存在需要辨别干扰气体的种类和测定其放气率的情况。本文件涵盖上述两种情况。
放气产生的一些分子能够被表面吸附且滞留时间远长于总测试时间。这些分子不在直接路径上时，也不能被测试仪器检测到。这可认为是一种表面效应，采用表面分析研究远比这里考虑的常规放气率测量更加行之有效。同时，受紫外光或X射线照射从表面释放的分子，也不适用于本文件。
制定本文件是为了使放气率的测试方法标准化，使得在不同实验室和采用不同方法获得的测试值具有可比性。为此，对于本文件中规定的任一种方法，每种方法中最重要的参数可依据计量水平溯源到国际基本单位（SI）。
质量损失法是一种与气体种类无关的放气率测试方法，主要用于航天器及卫星材料的放气率测试。在可接受的测试时长范围内，质量损失法可测试的放气率（＞1×10-5 Pa·m3·s-1）明显高于常规高真空和超高真空组件的放气率。而且，由于天平不适于在真空环境下应用，考虑到真空室的重量，无法原位测试样品。因

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6.[标准] 真空技术真空计用于分压力测量的四极质谱仪特性

发布单位：
中国-国家标准(CN-GB)

标准状态：
现行

标准号：
GB/Z 42625-2023

发布时间：
2023-05-23

中标分类：
J78 机械 - 通用机械与设备 - 真空技术与设备

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：
2023-05-23

摘要：本文件规定了四极质谱仪的特性，该质谱仪的离子源为电子轰击型，原子的质荷比（m/z）小于300。
本文件不适用于配有其他类型离子源的四极质谱仪，比如化学电离型离子源、光电离型离子源或场电离型离子源，也不适用于分析测量较大质荷比（m/z）的四极质谱仪，它们主要用于检测有机材料。
根据已出版的文献可知，四极质谱仪的计量特性依赖于仪器的设置、总压力和混合气体成分，因此，对所有应用状况下的四极质谱仪进行校准是不现实的。本文件中规定的特性方法包括真空系统的连续泄漏监测、采用示踪气体的漏率测量、残余气体分析和材料放气率测试。使用者能选择适合自身需求的特性方法，其他应用情况也能参照本文件的特性方法。
已知四极质谱仪部分参数的稳定性较差，尤其是灵敏度。因此，已校准参数，当需要精度更高时，仍需反复再校准。实际工况下，只能现场校准。因此，本文件不仅描述了校准实验室或者国家计量机构能如何校准四极质谱仪，并直接溯源到国际单位制（SI），而且描述了如何能在现场检查和维护已校准参数。
根据其物理原理，四极质谱仪需要高真空环境。通过减小进气尺寸或通过特殊离子源与分流泵相结合，四极质谱仪的操作范围能扩大到更高的压力，直至大气压力。但是，本文件不适用于采用分流抽气技术的四极质谱仪。因此，本文件中四极质谱仪入口处的压力范围不超过1 Pa。
本文件未规定制造商或者经销商宜如何调整四极质谱仪的初始参数，这些初始参数主要用来提供一个准确的m/z、恒定的质量分辨本领或恒定的传输概率，这是设备的基本参数。反之，本文件默认有一个制造商提供的参数重调程序，使用者能在现场重新调整参数。该程序旨在确保四极质谱仪的特性参数均处于最优状态。
本文件旨在让使用者通过其四极质谱仪获得最佳的计量效果。调查得知，多数情

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7.[标准] 真空技术真空计磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度

发布单位：
中国-国家标准计划(CN-PLAN)

标准状态：
正在起草

标准号：
20230570-T-604

发布时间：
2023-08-06

中标分类：
-

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：
8.[标准] 真空技术真空泵性能测量标准方法第4部分：涡轮分子泵

发布单位：
中国-国家标准计划(CN-PLAN)

标准状态：
正在起草

标准号：
20230571-T-604

发布时间：
2023-08-06

中标分类：
-

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：
9.[标准] 真空熔覆金刚石技术要求

发布单位：
中国-团体标准(CN-TUANTI)

标准状态：
现行

标准号：
T/QGCML 999-2023

发布时间：
2023-07-04

中标分类：
-

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：
2023-07-20

摘要：主要技术内容:本文件规定了真空熔覆金刚石技术要求的术语和定义、设备参数要求、系统运行要求、运转期间巡视要求、注意事项。本文件适用于真空熔覆金刚石系统的运行及操作
10.[标准] 泵类产品主数据标准

发布单位：
中国-团体标准(CN-TUANTI)

标准状态：
现行

标准号：
T/ZBZLXH 003-2023

发布时间：
2023-09-01

中标分类：
-

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：
2023-09-15

摘要：范围:本文件规定了工业互联网标识解析泵及真空设备行业元数据的术语和定义、元数据属性、标识符命名规则、核心元数据属性、泵产品类别、核心元数据扩展原则和方法;主要技术内容:本文件适用于指导泵及真空设备行业各参与方如何对在应用工业互联网标识对本行业各类对象进行标识、加工、管理、维护时产生的数据进行存储记录、使用、共享、交换和查询
11.[标准] 消防管道气密性检测设备

发布单位：
中国-团体标准(CN-TUANTI)

标准状态：
现行

标准号：
T/QGCML 2110-2023

发布时间：
2023-11-04

中标分类：
-

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：
2023-11-19

摘要：主要技术内容:本文件规定了消防管道气密性检测设备的术语和定义、型号、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输及贮存。本规范适用于消防管道气密性检测设备的设计及检验
12.[标准] Standard Guide for Approved Methods of Installing a CVS (Central Vacuum System)

安装CVS（中央真空系统）的批准方法的标准指南

发布单位：
美国-美国材料与试验协会(US-ASTM)

标准状态：
现行

标准号：
ASTM F2647-07(2023)

发布时间：
2023-09-01

中标分类：
-

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：

摘要： 1.1This guide demonstrates proper methods for installing a central-vacuum system.1.2Appendix X1contains additional sources of information that may be helpful to the user of this guide.1.3The values stated in inch-pound units are to be regarded as the standard. The values given in parentheses are for information only.1.4This standard does not purport to address all of the safety concerns, if any, associated with its use. It is the responsibility of the user of this standard to establish appropriate safety, health, and environmental practices and determine the applicability of regulatory limitations prior to use.1.5This international standard was developed in accordance with internationally recognized principles on standardization established in the Decision on Principles for the Development of International Standards, Guides and Recommendations issued by the World Trade Organization Technical Barriers to Trade (TBT) Committee. ====== Significance And Use ======4.1The suggestions of this guide are intended to provide proper installation materials and practices to be used during the installation of a central-vacuum system.
13.[标准] Standard Test Method for Leakage Testing of Empty Rigid Containers by Vacuum Method

用真空法对空的刚性容器进行泄漏试验的标准试验方法

发布单位：
美国-美国材料与试验协会(US-ASTM)

标准状态：
现行

标准号：
ASTM D4991-07(2023)

发布时间：
2023-03-15

中标分类：
-

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：

摘要： 1.1This test method covers the testing of empty containers for resistance to leakage under differential pressure conditions such as those which can occur during air transport. It is suitable for testing rigid containers intended for the transportation of some hazardous liquids in accordance with the United Nations Recommendations On The Transport Of Dangerous Goods (UN TDG) and the International Civil Aviation Organization Technical Instructions For The Safe Transport Of Dangerous Goods By Air (ICAO TIs).1.2This standard does not purport to address all of the safety concerns, if any, associated with its use. It is the responsibility of the user of this standard to establish appropriate safety, health, and environmental practices and determine the applicability of regulatory limitations prior to use.1.3This international standard was developed in accordance with internationally recognized principles on standardization established in the Decision on Principles for the Development of International Standards, Guides and Recommendations issued by the World Trade Organization Technical Barriers to Trade (TBT) Committee. ====== Significance And Use ======5.1Containers may be pressurized in accordance with this test method without modification to the closure or to the body of the container. This test method may be used for testing rigid containers intended for the transportation of some liquids by air in accordance with the ICAO TIs or in accordance with the UN TDG.5.2This test method establishes the point at which leakage commences, with a limit of approximately 95 kPa (13.8 psi) differential. See Test MethodD3078for flexible packages.5.3This test method may not be suitable for some packages, such as packages with paper cap seals, where the test fluid may rapidly deteriorate the packaging.
14.[标准] Vacuum technology — Vacuum gauges — Characteristics for a stable ionisation vacuum gauge

真空技术真空计稳定电离真空计的特性

发布单位：
国际组织-国际标准化组织(IX-ISO)

标准状态：
现行

标准号：
ISO/TS 6737:2023

发布时间：
2023-11-28

中标分类：
-

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：

摘要： This document describes a special design of an ionisation vacuum gauge which has a well-defined ionising electron path length.[2] Due to the construction design, it leads to good measurement accuracy, long-term stability, as well as gauge independent and reproducible sensitivity for nitrogen and relative sensitivity factors[3][4]. It is designed for the measurement range of 10-6？Pa to 10-2？Pa.This document describes only those dimensions and potentials of the gauge head which are relevant for the electron and ion trajectories. This document does not describe the electrical components necessary to operate the ionisation vacuum gauge in detail. The gauge head can be operated by voltage and power sources and ammeters commercially available, but also by a controller specially built for the purpose of the operation of this gauge head.The ionisation vacuum gauge described in this document can be built by any experienced manufacturer of other ionisation vacuum gauges. It is not subject to intellectual property protection.It is assumed for this document that the applicant is familiar with both the physics and principles of ionisation vacuum gauges as well as high and ultra-high vacuum technology in general.
15.[标准] Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 5: Non-evaporable getter (NEG) vacuum pumps

真空技术测量真空泵性能的标准方法第5部分:非蒸发吸气剂（NEG）真空泵

发布单位：
国际组织-国际标准化组织(IX-ISO)

标准状态：
现行

标准号：
ISO 21360-5:2023

发布时间：
2023-11-28

中标分类：
-

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：

摘要： This document specifies methods for the measurement of pumping characteristics of non-evaporable getters (NEGs). It is applicable to all sizes and all types of NEGs, including those:—？with the shape of pill, disk, ring, strip, module, cartridge;—？with pump structures;—？and NEG coatings on inner surface of pipes and vacuum chamber.A significant difference of pumping characteristics of the NEG and other vacuum pumps is that the pumping speed of the NEG depends on the sorption quantity. Furthermore, especially in the case of NEG coating, the sticking probability rather than the pumping speed is often the index of the pumping performance. Therefore, this document specifies the methods for measuring the pumping speed, the sorption quantity, and the sticking probability of NEGs.WARNING？It is assumed that the user is familiar with the handling of combustible gases and poisonous ones and with ultra-high vacuum technology.
16.[标准] Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 6: Cryogenic vacuum pumps

真空技术测量真空泵性能的标准方法第6部分:低温真空泵

发布单位：
国际组织-国际标准化组织(IX-ISO)

标准状态：
现行

标准号：
ISO 21360-6:2023

发布时间：
2023-12-06

中标分类：
-

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：

摘要： This document specifies methods for measuring the volume flow rate, maximum throughput, pumping capacity, base pressure cryogenic vacuum pump, cooldown time and crossover value of cryogenic vacuum pumps.It is applicable to two-stage, closed-loop gaseous helium cryogenic vacuum pumps, which can be directly flanged to a vacuum chamber.
17.[标准] Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for spinning rotor gauges

真空技术.真空计.旋转转子计的规范、校准和测量不确定度

发布单位：
国际组织-国际标准化组织(IX-ISO)

标准状态：
现行

标准号：
ISO 24477:2022

发布时间：
2022-08-05

中标分类：
-

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：

摘要： This document defines terms related to spinning rotor gauges (SRGs), specifies the necessary parameters for SRGs, details their calibration procedure and describes which measurement uncertainties to consider when operating these gauges. This document is applicable to pressure up to 2？Pa.
18.[标准] 真空技术真空泵性能测量标准方法第1部分：总体要求

发布单位：
中国-国家标准(CN-GB)

标准状态：
现行

标准号：
GB/T 40344.1-2021

发布时间：
2021-08-20

中标分类：
J78 机械 - 通用机械与设备 - 真空技术与设备

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：
2022-03-01

摘要： GB/T 40344的本部分规定了三种体积流率测量方法，并分别规定了测量真空泵基础压力、压缩比和临界前级压力的方法。测量体积流率的第一种方法（流量法）是一种基础方法：向真空泵内注入稳定流量的气体，同时测量泵的入口压力。在实际测量中，气体流量的测量可能是复杂或不精确的。为此，规定了另两种方法，以避免直接测量流量。测量体积流率的第二种方法（小孔法）适用于入口压力非常低（高真空或者超高真空）、流量非常小的情况。该方法是基于测量测试罩双测试室中的压力比。该测试罩由一个带圆孔的薄壁分隔成两个腔室。测量体积流率的第三种方法（抽气法）是基于大型容器抽空的方法，非常适用于自动化测量。通过抽气间隔前后的两个压力值和测试罩的体积来计算体积流率。测量结果及最后得出的体积流率受不同条件影响，如漏率和放气率、抽气间隔过程中由于接近于等熵膨胀引起的气体冷却、低压分子流态下引起测试罩与真空泵之间连接管路的流阻增加。测量方法的选择取决于特定种类真空泵的属性。例如，只有需要配备前级泵的真空泵才需要测量临界前级压力。所有未在本部分中规定的真空泵的测量参数（例如功耗的测量），在相应泵的标准中予以规定。

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19.[标准] 真空计四极质谱仪的定义与规范

发布单位：
中国-国家标准(CN-GB)

标准状态：
现行

标准号：
GB/T 40333-2021

发布时间：
2021-05-21

中标分类：
J78 机械 - 通用机械与设备 - 真空技术与设备

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：
2021-12-01

摘要：本标准界定了四极质谱仪相关的术语，并规定了制造商说明书中需要的参数，用于正常的校准和分压力测量质量的保证。本标准适用于配备了电子轰击型离子源的四极质谱仪。这样的四极质谱仪通常用于测量质荷比（m/z）小于300的物质。配有如化学电离、光电离、场致电离等其他类型的离子源，以及主要用于检测质荷比（m/z）大于300的特定有机物质的四极质谱仪，不在本标准适用范围内。

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20.[标准] 真空技术真空泵性能测量标准方法第2部分：容积真空泵

发布单位：
中国-国家标准(CN-GB)

标准状态：
现行

标准号：
GB/T 40344.2-2021

发布时间：
2021-08-20

中标分类：
J78 机械 - 通用机械与设备 - 真空技术与设备

国标分类：
23.160 流体系统和通用件 - 真空技术

实施时间：
2022-03-01

摘要： GB/T 40344的本部分规定了容积真空泵的体积流率、基础压力、水蒸气容限、功耗和最低启动温度的测量方法，该容积真空泵是直接排大气且其基础压力通常低于10 kPa。本部分中，有必要使用GB/T 40344.1中规定的方法测定体积流率和基础压力。本部分同样适用于其他直接排大气的泵，例如牵引泵。

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