T/CAS 304-2018 磁控溅射硅靶材及绑定靶材

基本信息

标准号

T/CAS 304-2018

标准状态

现行

发布单位或类别

中国-团体标准(CN-TUANTI);

发布日期

2018-05-29

实施日期

2018-05-29

废止日期

CCS分类

L19 电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 磁性元器件

ICS分类

29.045 电气工程 - 半导体材料

研制信息

起草单位

青岛蓝光晶科新材料有限公司;
大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司;
河北东同光电科技有限公司;
大连理工大学;
展开▼

起草人

张磊姜大川崔娜李鹏廷谭毅顾正石爽康明生朱辉郄奕张卫姚玉杰陈良杰李云飞王登科

归口单位

中国标准化协会

摘要

范围:本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材;主要技术内容:本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材展开▼

T/CAS 304-2018 磁控溅射硅靶材及绑定靶材

基本信息

研制信息

摘要

相似标准