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Solution composition for forming thin film of transition metal dichalcogenide and method for producing transition metal dichalcogenide thin film using the same

机译:用于形成过渡金属二甲烷的薄膜的溶液组合物及其使用相同的制备过渡金属二甲烷薄膜的方法

摘要

The present invention relates to a solution composition for forming a transition metal dichalcogenide thin film and a method for manufacturing a transition metal dichalcogenide thin film using the same, and more particularly, dimethylformamide, butylamine and ethanolamine ( By dissolving a precursor of a transition metal dichalcogenide in a mixed organic solvent containing ethanolamine) and adding a separate sulfur-added carbon disulfide (CS 2 )-containing solution to prepare a solution for thin film formation, conventional chemical vapor phase It relates to a method of manufacturing a transition metal dichalcogenide thin film for an electronic device and an optical device that can be manufactured by simple heat treatment after coating the solution without using a deposition method. According to the present invention, by dissolving the precursor of the transition metal dichalcogenide compound in a mixed organic solvent containing dimethylformamide, butylamine and ethanolamine, the solubility of the precursor is increased and a chemically stable solution for forming a thin film is prepared possible. In addition, by using the solution for forming the thin film, it is possible to easily form a large-area transition metal dichalcogenide thin film by employing a coating or printing process without using CVD.
机译:本发明涉及一种用于形成过渡金属二甲基甲基薄膜的溶液组合物及其使用相同的过渡金属二甲基化物薄膜的方法,更具体地,二甲基甲酰胺,丁胺和乙醇胺(通过溶解过渡金属二甲基化物的前体在含有乙醇胺的混合有机溶剂中,并加入单独的硫加入的二硫化碳(CS 2) - 致溶液,以制备薄膜形成的溶液,常规化学气相介绍,其涉及一种制造过渡金属二甲基薄膜的方法对于电子设备和光学装置,可以通过在涂覆溶液后通过简单的热处理而不使用沉积方法制造的光学装置。根据本发明,通过将过渡金属二甲胺化物化合物的前体溶解在含有二甲基甲酰胺,丁胺和乙醇胺的混合有机溶剂中,可以增加前体的溶解性,并且可以制备用于形成薄膜的化学稳定的溶液。另外,通过使用用于形成薄膜的溶液,可以通过在不使用CVD的情况下使用涂层或印刷过程来容易地形成大面积过渡金属二甲基晶片薄膜。

著录项

  • 公开/公告号KR102334669B1

    专利类型

  • 公开/公告日2021-12-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 호서대학교 산학협력단;

    申请/专利号KR20190056274

  • 发明设计人 최운섭;곽영진;

    申请日2019-05-14

  • 分类号C23C18/12;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-24 22:37:45

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