公开/公告号US11018225B2
专利类型
公开/公告日2021-05-25
原文格式PDF
申请/专利号US201615195107
发明设计人 ROBERT L. BRUCE;KEVIN K. CHAN;SEBASTIAN U. ENGELMANN;RENEE T. MO;CHRISTOPHER SCERBO;HONGWEN YAN;JENG-BANG YAU;
申请日2016-06-28
分类号H01L21/22;H01L29/10;H01L21/02;H01L21/223;H01L29/20;H01L29/66;
国家 US
入库时间 2024-06-14 21:35:00