公开/公告号EP3339312B1
专利类型
公开/公告日2021-05-12
原文格式PDF
申请/专利权人
申请/专利号EP20180155154
发明设计人 ONEILL MARK LEONARD;XIAO MANCHAO;LEI XINJIAN;HO RICHARD;HARIPIN CHANDRA;MACDONALD MATTHEW R.;WANG MEILIANG;
申请日2014-09-22
分类号C07F7/10;C23C16/24;H01L21/02;C09D5/24;C23C16/455;
国家 EP
入库时间 2024-06-14 21:32:16