公开/公告号US10976281B2
专利类型
公开/公告日2021-04-13
原文格式PDF
申请/专利号US201916453637
发明设计人 QINGHE WANG;LIANGCHEN YAN;DONGFANG WANG;TONGSHANG SU;LEILEI CHENG;YONGCHAO HUANG;YANG ZHANG;GUANGYAO LI;GUANGCAI YUAN;
申请日2019-06-26
分类号G01N27/414;H01L27/32;H01L51;
国家 US
入库时间 2024-06-14 21:24:54