退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
机译:电气设备的曝光时间范围,具有几个场的测量值。
公开/公告号FR802512A
专利类型
公开/公告日1936-09-07
原文格式PDF
申请/专利权人 METRAWATT AKTIENGESELLSCHAFT;
申请/专利号FRD802512
发明设计人
申请日1936-03-02
分类号G01J1/42;
国家 FR
入库时间 2022-08-24 06:07:04
机译: 近场光产生方法,近场曝光掩模,近场曝光方法,近场曝光设备,近场光头
机译: 避免近场光重叠的近场曝光掩模,其制造方法,使用近场曝光掩模的曝光设备和方法以及制造装置