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机译:回旋波双流装置
公开/公告号US3270241A
专利类型
公开/公告日1966-08-30
原文格式PDF
申请/专利权人 RADIO CORPORATION OF AMERICA;
申请/专利号US19650485802
发明设计人 VURAL BAYRAM;
申请日1965-09-08
分类号H01J25/48;
国家 US
入库时间 2022-08-23 14:32:15
机译: 利用电子回旋波的波共振测量沉积低压等离子体的方法和执行该方法的装置