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机译:双真空胶水等中控制arbeitsvorgaenge的方法,特别是自动驱油
公开/公告号DE000002153796A
专利类型
公开/公告日1973-05-03
原文格式PDF
申请/专利权人 WERNER HERDIECKERHOFF GLUEHTOP;
申请/专利号DE2153796A
发明设计人 PFENDER KARL;
申请日1971-10-28
分类号F27B14/04;
国家 DE
入库时间 2022-08-23 07:06:29
机译: 一种通过在双真空退火炉等情况下进行控制功的方法,特别是用于自动注水的方法。
机译: 双真空泵装置,配备有该真空泵的气体净化系统以及控制双真空泵装置的方法
机译: 用于半导体制造等的气体摩擦泵的操作方法是使用可控阀向泵注水,以增加泵的内部压力和摩擦力,从而产生热量以加热转子