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AUTOMATIC GENERATION OF MICROSCOPIC PATTERNS IN MULTIPLICITY AT FINAL SIZE

机译:最终以多重方式自动生成显微图案

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号JPS514869B1

    专利类型

  • 公开/公告日1976-02-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号JP19730015452

  • 发明设计人

    申请日1973-02-07

  • 分类号G02B27/00;G02B3/00;G02B7/02;G03B15/00;H01L21/02;H01L21/312;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-23 03:03:03

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