学术工具
退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
机译:大冢穗之冢的月节月记
公开/公告号JPS518992A
专利类型
公开/公告日1976-01-24
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI LTD;
申请/专利号JP19740079207
发明设计人 KANAZAWA KAZUYOSHI;USUDA TAKESHI;
申请日1974-07-12
分类号G01N19/04;G01R31/26;H01L21/66;
国家 JP
入库时间 2022-08-23 03:01:55