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drive, especially for anvendning at a avsokningsanordning for framstellning of masks for microcircuits

机译:驱动,特别是在avsokning大会上的会议avensning大会上的对微电路掩膜的细读

摘要

A scanning device for providing rapid accurate mechanical line scanning of a preferably flat surface includes a radiation source, a radiation sensitive medium and apparatus for providing relative movement between the radiation source and the medium. The apparatus includes a driving device and a slide structure which is designed to oscillate at substantially its self resonant frequency in order to increase accuracy of operation.
机译:一种用于对优选的平坦表面进行快速精确的机械线扫描的扫描装置,包括辐射源,辐射敏感介质以及用于在辐射源与介质之间提供相对运动的设备。该设备包括驱动装置和滑动结构,该滑动结构被设计成基本上以其自谐振频率振荡,以提高操作精度。

著录项

  • 公开/公告号SE399628B

    专利类型

  • 公开/公告日1978-02-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ERIK GERHARD NATANAEL * WESTERBERG;

    申请/专利号SE19750001605

  • 发明设计人 SOK;

    申请日1975-02-13

  • 分类号H05K3/00;

  • 国家 SE

  • 入库时间 2022-08-22 22:39:03

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