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机译:在根据该方法制造的塔克巴兹维尔和塔巴克维尔中将图案固定在图案上的装置和装置。
公开/公告号NL7807496A
专利类型
公开/公告日1979-06-21
原文格式PDF
申请/专利权人 AMF INCORPORATED TE WHITE PLAINS NEW YORK VER.ST.V.AM.;
申请/专利号NL19780007496
发明设计人
申请日1978-07-12
分类号A24B3/14;
国家 NL
入库时间 2022-08-22 20:41:40
机译: 用于转换用于光刻设备的期望设备图案的基于矢量的表示的设备和方法,用于将数据提供给可编程的打标设备,光刻设备和设备制造方法的设备和方法。
机译: 设计一组或一组的方法或掩模图案,图案以及器件的制造方法。
机译: 对准标记,基板,设置图案的设备和设备制造方法。