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机译:磊晶磊晶中横向自掺杂的补偿方法
公开/公告号DD206799A1
专利类型
公开/公告日1984-02-08
原文格式PDF
申请/专利权人 AKAD WISSENSCHAFTEN DDR DD;
申请/专利号DD19810235126
发明设计人 SPERLING ROLF DD;FISCHER ARMIN DD;RICHTER FRANK DD;MUELLER BAERBEL DD;KUEHNE HEINZ DD;
申请日1981-11-26
分类号C30B25/02;
国家 DD
入库时间 2022-08-22 09:21:26
机译: 硅衬底垂直垂直掺杂的补偿方法
机译: 在CVD工艺中抑制来自重掺杂衬底的外延层中自动掺杂的方法