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机译:混合生产机中电控热固浓度影响瞬态浓度的方法和装置
公开/公告号JPS627383B2
专利类型
公开/公告日1987-02-17
原文格式PDF
申请/专利权人 PIIRUBURUKU GMBH UNTO CO KG;ROOBERUTO BOTSUSHU GMBH;
申请/专利号JP19800094534
发明设计人 UARERIO BIANCHI;FURANTSU YOZEFU EERENTORAUTO;PEETAA UEBUKII;
申请日1980-07-10
分类号F02M7/06;F02D41/06;F02M1/08;F02M7/12;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 07:22:17
机译: 混合生产机中电控热固浓度影响瞬态浓度的方法和装置
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机译: 在器件中形成栅极之前使用瞬态增强扩散来控制掺杂剂浓度的方法