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Method for producing a piezo resistor strain gauge and an accelerometer with such a gauge

机译：压电电阻应变计的制造方法以及具有该应变计的加速度计

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摘要

process for the manufacture of a rod on a side of a piézorésistive flexible beam of an accelerometer.;this process is to etch a substrate (22) perpendicular to its surface to form a recess (27) and (3

机译：在加速度计的压电弹性梁的侧面上制造棒的方法;该方法是蚀刻垂直于其表面的基板（22）以形成凹槽（27）和（3）

著录项

公开/公告号EP0267069A1

专利类型
公开/公告日1988-05-11

原文格式PDF
申请/专利权人 COMMISSARIAT A LENERGIE ATOMIQUE;
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申请/专利号EP19870402165
发明设计人 DELAPIERRE GILLES;
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申请日1987-09-29
分类号G01P15/12;
国家 EP
入库时间 2022-08-22 06:55:08

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