公开/公告号JPH0227811B2
专利类型
公开/公告日1990-06-20
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI LTD;
申请/专利号JP19850271455
发明设计人 HOSAKA SUMIO;KUNYOSHI SHINJI;TERASAWA TSUNEO;TAKANASHI AKIHIRO;KUROSAKI TOSHISHIGE;KAWAMURA YOSHIO;
申请日1985-12-04
分类号H01L21/30;G03B27/58;G03F7/207;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/66;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 06:22:25