公开/公告号DD293664A5
专利类型
公开/公告日1991-09-05
原文格式PDF
申请/专利权人 FOTOCHEM WERKE BERLIN VEB DE;
申请/专利号DD19900339657
发明设计人 BARNIKOW JOACHIM DE;SEIBT HORST DE;PLATONOV VIATCHESLAV E DE;PRESCHER DIETRICH DE;LEHMANN LUKAS DE;ENGELBRECHT LOTHAR DE;LEHMS INGEBURG DE;BAUMBACH WOLFGANG DE;HAEHNEL ELFRIEDE DE;
申请日1990-04-11
分类号G03F7/26;H01L21/312;
国家 DD
入库时间 2022-08-22 05:59:08