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机译:通过脉冲准分子激光蒸发制备薄膜的过程。
公开/公告号GR3024785T3
专利类型
公开/公告日1998-01-30
原文格式PDF
申请/专利权人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY;
申请/专利号GR19970402409T
发明设计人 THE STEPHENS SINTSUN;KEATING KENNETH BERNARD;
申请日1997-09-17
分类号H01L39/24;
国家 GR
入库时间 2022-08-22 02:57:59
机译: 通过脉冲准分子激光蒸发生产薄膜的方法(通过脉冲准分子激光蒸发制备薄膜的工艺)
机译: 通过脉冲准分子激光蒸发生产薄膜的方法。
机译: 通过脉冲激光蒸发生产聚合物薄膜的方法。