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机译:干涉仪,用于测量具有掠入射的衍射光学元件的表面
公开/公告号DE29623238U1
专利类型
公开/公告日1998-01-08
原文格式PDF
申请/专利权人 TROPEL CORP. FAIRPORT N.Y. US;
申请/专利号DE1996223238U
发明设计人
申请日1996-01-18
分类号G01B9/02;G01J3/18;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 02:44:02
机译: 用衍射光学元件对掠入射的表面进行干涉测量
机译: 掠入射时用衍射光学干涉测量表面