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机译:使用铜和铝合金化学气相共沉积的方法
公开/公告号GB2297560B
专利类型
公开/公告日1998-05-13
原文格式PDF
申请/专利权人 * AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INC.;
申请/专利号GB19960002980
发明设计人 DAVID ARTHUR * BOHLING;STEPHEN MARK * FINE;
申请日1996-02-01
分类号C23C16/18;
国家 GB
入库时间 2022-08-22 02:41:33
机译: 使用铜和铝合金化学气相共沉积的方法
机译: 铜和铝合金的化学气相共沉积
机译: 铜和铝合金化学气相共沉积工艺