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机译:半导体元器件生产中的接触曝光工艺
公开/公告号ATA143096A
专利类型
公开/公告日1999-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 THALLNER ERICH DIPL.ING.;
申请/专利号AT19960001430
发明设计人
申请日1996-08-08
分类号H01L21/68;G03F7/00;H01L21/00;
国家 AT
入库时间 2022-08-22 02:24:46
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