公开/公告号EP0887833A3
专利类型
公开/公告日2000-02-02
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申请/专利权人 HITACHI CHEMICAL CO. LTD.;
申请/专利号EP19980401222
发明设计人 SATOU KAZUYA;TANAKA HIROYUKI;NOJIRI TAKESHI;SHIMAMURA MARIKO;KIMURA NAOKI;TAI SEIJI;HORIBE YOSHIYUKI;
申请日1998-05-20
分类号H01J9/227;
国家 EP
入库时间 2022-08-22 01:48:26