公开/公告号US6316167B1
专利类型
公开/公告日2001-11-13
原文格式PDF
申请/专利号US20000480442
发明设计人 MARIE ANGELOPOULOS;KATHERINA BABICH;ALFRED GRILL;SCOTT DAVID HALLE;ARPAN PRAVIN MAHOROWALA;VISHNUBHAI VITTHALBHAI PATEL;
申请日2000-01-10
分类号G03F72/60;C23C163/20;
国家 US
入库时间 2022-08-22 00:48:38