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BAKE APPARATUS AND FUME REMOVING METHOD THEREOF

机译:烘烤装置及其除烟方法

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号KR20040071854A

    专利类型

  • 公开/公告日2004-08-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD.;

    申请/专利号KR20030007761

  • 发明设计人 MUN SANG SIK;

    申请日2003-02-07

  • 分类号H01L21/027;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 22:48:17

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