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Method for forming a micro pattern, micro pattern, method for fabricating a mold for forming the micro pattern through transcription, and mold for forming the micro pattern through transcription

机译:形成微图案的方法,微图案,通过转录形成用于形成微图案的模具的方法以及用于通过转录形成微图案的模具

摘要

An organic monomolecular film is formed on a first substrate, and micro processed using photolithography technique to form an organic mono-molecular film pattern. Then, a thin film is selectively grown on the organic monomolecular film pattern, and transcribed onto a second substrate to form a micro pattern made of the thin film on the second substrate.
机译:在第一基板上形成有机单分子膜,并使用光刻技术对其进行微处理以形成有机单分子膜图案。然后,在有机单分子膜图案上选择性地生长薄膜,并转录到第二基板上,以在第二基板上形成由薄膜制成的微图案。

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