公开/公告号EP1745504A1
专利类型
公开/公告日2007-01-24
原文格式PDF
申请/专利号EP20050728610
发明设计人 GATES STEPHEN M.;GRILL ALFRED;MEDEIROS DAVID R.;NEUMAYER DEBORAH;NGUYEN SON VAN;PATEL VISHNUBHAI V.;WANG XINHUI;
申请日2005-03-23
分类号H01L21/312;H01L21/316;C23C16/40;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 20:47:26