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Method of achieving uniform length of carbon nanotubes (CNTS) and method of manufacturing field emission device (FED) using such CNTS

机译:实现碳纳米管(CNTS)均匀长度的方法以及使用这种CNTS的场致发射器件(FED)的制造方法

摘要

In a method of achieving uniform lengths of Carbon NanoTubes (CNTs) and a method of manufacturing a Field Emission Device (FED) using such CNTs, an organic film is coated to cover CNTs formed on a predetermined material layer. The organic film is etched to a predetermined depth to remove projected portions of the CNTs. After that, the organic film is removed.
机译:在实现均匀长度的碳纳米管(CNT)的方法和使用这种CNT制造场致发射装置(FED)的方法中,涂覆有机膜以覆盖形成在预定材料层上的CNT。将有机膜蚀刻至预定深度以去除CNT的突出部分。之后,去除有机膜。

著录项

  • 公开/公告号US7432217B1

    专利类型

  • 公开/公告日2008-10-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 HA-JIN KIM;IN-TAEK HAN;

    申请/专利号US20060473070

  • 发明设计人 IN-TAEK HAN;HA-JIN KIM;

    申请日2006-06-23

  • 分类号H01H21/31;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 20:10:19

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