公开/公告号WO2008128821A1
专利类型
公开/公告日2008-10-30
原文格式PDF
申请/专利权人 EVONIK DEGUSSA GMBH;FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH;PETRAT FRANK-MARTIN;THIEM HEIKO;HILL SVEN;EBBERS ANDRÉ;OKAMURA KOSHI;SCHMECHEL ROLAND;
申请/专利号WO2008EP52820
申请日2008-03-10
分类号H01L21/3205;C01G9/03;H01L21/336;H01L29/786;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 19:56:38