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机译:低微管100毫米碳化硅晶片
公开/公告号KR100854004B1
专利类型
公开/公告日2008-08-26
原文格式PDF
申请/专利权人
申请/专利号KR20077007642
发明设计人 파월 아드리안;레오나르드 로버트 타일러;브래디 마크;
申请日2007-04-03
分类号C30B29/36;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 19:51:44
机译: 低微管100毫米碳化硅晶片
机译: 低微管密度的100毫米碳化硅晶片的生产方法