要解决的问题:提供一种用于多层电子部件的缺陷检测方法,该方法可用于改进制造工艺并可以提高多层电子部件的开发速度,该多层电子部件变得更紧凑,更薄,越来越多层,并且提供一种使用该方法制造多层电子部件的方法。
解决方案:多层电子部件的缺陷检测方法包括以下步骤:在要切割的生坯叠层4a的外层表面或外层上提供标记M,使其对应于生坯芯片4b。被切割切割生坯堆叠4a以获得多个生坯芯片4b;检查生坯4b,并从有缺陷的生坯4b的标记M确定生坯堆叠4a的缺陷发生位置。
版权:(C)2009,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2009135322A
专利类型
公开/公告日2009-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 TDK CORP;
申请/专利号JP20070311249
申请日2007-11-30
分类号H01G13;H01G4/12;H01G4/30;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 19:44:59