机译:图案形成方法,成膜方法,图案形成装置的制造方法,有机电致发光装置,滤色器的制造方法,电光装置的制造方法以及电子装置的制造方法
公开/公告号JP4345278B2
专利类型
公开/公告日2009-10-14
原文格式PDF
申请/专利权人 セイコーエプソン株式会社;
申请/专利号JP20020264522
发明设计人 宮澤 貴士;
申请日2002-09-10
分类号H05B33/10;G02B5/20;H05B33/12;H01L51/50;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 19:42:37