公开/公告号US7510920B2
专利类型
公开/公告日2009-03-31
原文格式PDF
申请/专利权人 SHUNPEI YAMAZAKI;AKIHISA SHIMOMURA;HISASHI OHTANI;MASAAKI HIROKI;KOICHIRO TANAKA;AIKO SHIGA;MAI AKIBA;KENJI KASAHARA;
申请/专利号US20050285012
发明设计人 KENJI KASAHARA;SHUNPEI YAMAZAKI;MASAAKI HIROKI;AIKO SHIGA;AKIHISA SHIMOMURA;MAI AKIBA;HISASHI OHTANI;KOICHIRO TANAKA;
申请日2005-11-23
分类号H01L21/84;
国家 US
入库时间 2022-08-21 19:29:33