公开/公告号JP4387471B2
专利类型
公开/公告日2009-12-16
原文格式PDF
申请/专利权人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド;
申请/专利号JP19970360401
发明设计人 シュー ユ チャン;クラエス ビョークマン;ゾンギュ リ;マイケル ウェルチ;クアン-ハン キ;ロジャー リンドリー;リチャード プラヴィダル;ホンチン シャン;ジ ディング;ブライアン プ;
申请日1997-12-26
分类号H01L21/3065;H01L21/02;H01L21/205;H05H1/46;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:57:44