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METHOD AND DEVICE FOR MICROWAVE PLASMA DEPOSITION OF A COATING ON A THERMOPLASTIC CONTAINER SURFACE

机译:热塑容器表面涂层的微波等离子体沉积方法和装置

摘要

the invention relates to the deposition of a coating on a face of a container (3).thermoplastic material using a low pressure plasmaexcitation of a precursor gas by electromagnetic waves in a uhf (ultra high frequency)(1) in a vacuum chamber of circular receiving container. we.the cavity (1) in relation to the frequency of the uhf electromagnetic wavesin order to obtain a coupling mode with multiple fieldselectromagnetic (em) in the cavity. in particular, we establish a method120, which generates two coupling fields for central (4a, 4b) insidethe cavity, so that we can simultaneously process two containers (3).in said cavity (1).
机译:本发明涉及在容器(3)的表面上沉积涂层。使用低压等离子体的热塑性材料超高频(超高频)中的电磁波激发前驱气体(1)在圆形接收容器的真空室中。我们。与超高频电磁波频率有关的空腔(1)为了获得具有多个场的耦合模式腔中的电磁(em)。特别是我们建立了一种方法120,它为内部的中心(4a,4b)生成两个耦合场腔体,以便我们可以同时处理两个容器(3)。在所述腔(1)中。

著录项

  • 公开/公告号CA2507319C

    专利类型

  • 公开/公告日2009-12-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SIDEL;

    申请/专利号CA20032507319

  • 发明设计人 PERNEL YANN;RIUS JEAN-MICHEL;

    申请日2003-11-25

  • 分类号H05H1/46;B65D23/02;C23C16/04;C23C16/511;H01J37/32;H05H1/24;

  • 国家 CA

  • 入库时间 2022-08-21 18:42:42

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