要解决的问题:提供一种检查装置,其以高精度高精度地测量作为太阳能电池的一部分的太阳能电池的发电性能和缺陷,以提高生产效率和制造效率。太阳能电池。
解决方案:用于太阳能电池的检查装置包括:IV测量单元,其测量作为待测量体的太阳能电池的电流-电压特性;以及缺陷检查单元,其检查太阳能电池的缺陷。
版权:(C)2011,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2011138981A
专利类型
公开/公告日2011-07-14
原文格式PDF
申请/专利号JP20090299123
申请日2009-12-29
分类号H01L31/04;G01R31/26;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:25:29