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METHOD OF OPTIMIZING SERVO CONTROLLER POWER IN TWO-DIMENSIONAL FLEXURE MEMS STORAGE DEVICES

机译:二维挠曲MEMS存储装置中伺服控制器功率的优化方法

摘要

A method of optimizing a servo controller power required in the operation of twodimensional flexure (Microelectronic Memory Storage) MEMS devices. Furthermore, provided is an arrangement for optimizing servo controller power in a two-dimensional flexure MEMS storage device through a utilization of the inventive method.
机译:一种优化二维挠曲(微电子存储器存储)MEMS器件的操作所需的伺服控制器功率的方法。此外,提供了一种用于通过利用本发明的方法来优化二维挠曲MEMS存储装置中的伺服控制器功率的装置。

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