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机译:职业管理系统,带有集成的智能监控系统和工厂级装载端口
公开/公告号JP5054879B2
专利类型
公开/公告日2012-10-24
原文格式PDF
申请/专利权人 クロッシング オートメーション インコーポレイテッド;
申请/专利号JP20020520273
发明设计人 マーティン レイモンド エス;
申请日2001-08-14
分类号H01L21/02;H01L21/66;H01L21/677;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 17:41:18
机译: 在工厂级别的运输工具和显示器上与职业管理系统集成的智能装载端口
机译: 带有集成运营商监控和FAB全方位运营商管理系统的智能装载端口
机译: 具有集成运营商监控和整个晶圆厂运营商管理系统的智能装载端口