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Career management system with integrated smart loading port of the carrier monitor and factory level

机译:职业管理系统,带有集成的智能监控系统和工厂级装载端口

摘要

System for managing a career operations at the factory level and the system is able to monitor the performance characteristics of a plurality of wafer carriers in the loading port is disclosed.
机译:公开了一种用于在工厂级别管理职业操作的系统,并且该系统能够监视装载端口中的多个晶片载体的性能特征。

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