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ANNEALING TECHNIQUES FOR HIGH PERFORMANCE COMPLEMENTARY METAL OXIDE SEMICONDUCTOR (CMOS) DEVICE FABRICATION

机译:高性能互补金属氧化物半导体(CMOS)器件制造的退火技术

摘要

A semiconductor structure is provided. In some cases, an absorber having a low deposition temperature is applied to at least a portion of the structure. At least a portion of the structure is subjected to a long flash anneal process.
机译:提供一种半导体结构。在一些情况下,将具有低沉积温度的吸收剂施加到结构的至少一部分上。对该结构的至少一部分进行长时间的快速退火处理。

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