公开/公告号WO2011139501A3
专利类型
公开/公告日2012-02-23
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;DHANDAPANI SIVAKUMAR;MENK GREGORY E.;CHO SANG J.;FUNG JASON GARCHEUNG;COCCA CHRISTOPHER D.;TSAI STAN D.;CHANG SHOU-SUNG;GARRETSON CHARLES C.;
申请/专利号WO2011US32319
发明设计人 DHANDAPANI SIVAKUMAR;MENK GREGORY E.;CHO SANG J.;FUNG JASON GARCHEUNG;COCCA CHRISTOPHER D.;TSAI STAN D.;CHANG SHOU-SUNG;GARRETSON CHARLES C.;
申请日2011-04-13
分类号H01L21/304;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 17:19:00