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Apparatus for measuring thickness change, system using the apparatus, morphology microscope using the apparatus, method for measuring thickness change, and method for acquiring morphology image using the method

机译:测量厚度变化的设备,使用该设备的系统,使用该设备的形态显微镜,测量厚度变化的方法以及使用该方法获取形态图像的方法

摘要

The present invention is inexpensive and simple configuration changes and precise microscopic thickness that can be measured accurately measuring thickness change device , using this system , to the surface of the image pickup surface method using a microscope, and this thickness variation measuring method using the same , and a light source that can irradiate the beam on the object to be measured , can be reflected when the incident beam is reflected by the measurement object and that the reflector surface , which includes a can sensing the reflected beam from the sensing surface reflector , thickness variation measurement device , a system using the same surface using the same microscope , thickness variation provides a surface measurement method using the image pickup method , and this . ;
机译:本发明是廉价且简单的结构改变和精确的微观厚度,其可以使用该系统精确地测量厚度改变装置,该厚度改变装置使用显微镜对图像拾取表面方法的表面进行测量,并且该厚度改变测量方法使用其来进行测量,当入射光束被测量物体反射时,反射光束的光源可以被反射。变化测量装置,一种使用同一显微镜在同一表面上的系统,厚度变化提供了一种使用图像拾取法的表面测量方法。 ;

著录项

  • 公开/公告号KR101169586B1

    专利类型

  • 公开/公告日2012-07-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR20100059064

  • 发明设计人 서봉민;

    申请日2010-06-22

  • 分类号G01B11/06;G02B5/08;G02B27;

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