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Vacuum pump apparatus

机译:真空泵装置

摘要

Apparatus for supplying a purge gas to a multistage vacuum pump 7 such that the apparatus comprises a gas inlet 9 in fluid communication with a plurality of gas outlets 11 for supplying gas to respective ports of the multistage pump, where the gas outlets have control orifices for supplying gas to the respective ports at proportionally fixed gas flow rates and the apparatus further comprising a control module 17 for controlling the gas flow to the gas inlet in response to a control signal. Preferably the orifices in the outlets are defined by fixed or variable restrictors that have a fixed size ratio relative to each other. The control module may be operable to adjust the pressure of gas supplied to the gas inlet and comprise a variable restrictor to vary the gas flow rate through the gas inlet. A pump system and method for supplying a purge gas is also claimed.
机译:用于向多级真空泵7供应吹扫气体的设备,使得该设备包括与多个气体出口11流体连通的气体入口9,所述多个气体出口11用于向多级泵的各个端口供应气体,其中气体出口具有用于以成比例的固定气体流量将气体供应到各个端口,并且该设备进一步包括控制模块17,用于响应于控制信号来控制流向气体入口的气体。优选地,出口中的孔口由相对于彼此具有固定尺寸比的固定或可变节流器限定。控制模块可用于调节供应到进气口的气体的压力,并且包括可变限流器以改变通过进气口的气体流速。还要求一种用于提供吹扫气体的泵系统和方法。

著录项

  • 公开/公告号GB201205284D0

    专利类型

  • 公开/公告日2012-05-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 EDWARDS LIMITED;

    申请/专利号GB20120005284

  • 发明设计人

    申请日2012-03-26

  • 分类号F04C29;C23C16/44;

  • 国家 GB

  • 入库时间 2022-08-21 17:03:46

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