公开/公告号US8354309B2
专利类型
公开/公告日2013-01-15
原文格式PDF
申请/专利权人 BRIAN J. GREENE;MICHAEL P. CHUDZIK;SHU-JEN HAN;WILLIAM K. HENSON;YUE LIANG;EDWARD P. MACIEJEWSKI;MYUNG-HEE NA;EDWARD J. NOWAK;XIAOJUN YU;
申请/专利号US201213347014
发明设计人 WILLIAM K. HENSON;MYUNG-HEE NA;MICHAEL P. CHUDZIK;BRIAN J. GREENE;EDWARD P. MACIEJEWSKI;EDWARD J. NOWAK;SHU-JEN HAN;XIAOJUN YU;YUE LIANG;
申请日2012-01-10
分类号H01L21/00;H01L21/84;
国家 US
入库时间 2022-08-21 16:45:00