机译:用于微光刻的扫描仪中使用的光学系统的照明光学器件具有照明通道,通过将特定数量的单个反射镜倾斜到预设值来调整其光场区域中的总强度
公开/公告号DE102012207572A1
专利类型
公开/公告日2013-05-08
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT GMBH;
申请/专利号DE201210207572
发明设计人 PATRA MICHAEL;
申请日2012-05-08
分类号G02B26/08;G03F7/20;G02B5/09;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 16:21:42